第一讲+概述.pdf

MEMS和微系统设计 MEMS和微系统设计 电子与计算机科学技术学院 电子与计算机科学技术学院 2009 2009 熊继军的基本信息 熊继军的基本信息 • 1971年8月出生于湖北、黄冈。 • 1971年8月出生于湖北、黄冈。 • 1999.5－2003.7 获清华大学工学博士学位 • 1999.5－2003.7 获清华大学工学博士学位 • 1989.9－1998.3 获华北工学院硕士、学士学位 • 1989.9－1998.3 获华北工学院硕士、学士学位 • 1993.7－？ 中北大学助教、讲师，副教授,教授 • 1993.7－？ 中北大学助教、讲师，副教授,教授 主要研究领域：微系统与测试技术 主要研究领域：微系统与测试技术 联系方式：xiongjijun@ 联系方式：xiongjijun@ 0351-3924891 0351-3924891 在本课程之前 在本课程之前 • MEMS工艺基础 • MEMS工艺基础 • 电子基础 • 电子基础 • 大学物理/数学 • 大学物理/数学 • ANSYS仿真 • ANSYS仿真 课程的基本目的 课程的基本目的 • 掌握MEMS设计的基本过程 • 掌握MEMS设计的基本过程 • 掌握mems机电及其耦合分析的基本理论 • 掌握mems机电及其耦合分析的基本理论 • 掌握机电结构微器件的性能分析方法 • 掌握机电结构微器件的性能分析方法 • 了解热、流体的基本理论 • 了解热、流体的基本理论 • 了解MEMS的发展前沿知识 • 了解MEMS的发展前沿知识 • 培养对MEMS的兴趣 • 培养对MEMS的兴趣 课程的特点 参考书： MEMS设计基础 —黄庆安等译 MEMS和微系统——设计与制造 王晓浩、熊继军等译 ，机械工业出版社 微传感器与微执行器 张文栋等译，科学技术出版社 Fundamentals of Microfabrication; Marc J. Madou 讲稿和参考书之间的关系 • 考试： 开卷考试40% +课堂讨论40%+平时20% How to learn this course How to learn this course Learn this course? Why- connect to other course, our life, future Fabrication process? connect to other chapter Stress analysis? connect to the accelerator design Questions Questions Somebody who asks a question may be stupid for 5 minutes. Somebody who does not ask, may remain to be stupid for the rest of the life.