极紫外位置灵敏阳极光子计数成像探测器研究-中国光学.PDFVIP

第! 卷 第# 期 中国光学与应用光学 9-1: ! ;-: # !$$% 年! 月 ’()*+* ,-./)01 -2 345(6+ 0)7 8441(*7 345(6+ *=: !$$% 文章编号 #AB@?!%#D（!$$% ）$#?$$CA?$D 极紫外位置灵敏阳极光子计数成像探测器研究 尼启良，刘世界，陈 波 （中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 #C$$CC ） 摘要：研制出了应用于月基极紫外成像仪的二维极紫外位置灵敏阳极光子计数成像探测器原形样机，该探测器主要由工 作在脉冲计数模式下的微通道板堆、楔条形位置灵敏阳极及相关的模拟和数据处理电路组成。设计和制备了周期为 # EE ，直径为C$ EE 的三电极楔条形位置灵敏阳极，研制了最高计数率为!$$ FGH 的前端模拟和数字电路。测量了探测 器的暗计数率、脉冲高度分布及空间分辨率等工作特性。测量结果表明，该探测器的空间分辨率为$I ! EE ，满足月基 极紫外成像仪对空间分辨率的要求。 关 键 词：极紫外探测器；光子计数成像探测器；微通道板；位置灵敏阳极 J;!C ；J;CAA 文献标识码：8 中图分类号： !#$%’()’* * $+,$-$ ./,)#’*/$ 01**23*.’( ’-)(’( 4$$3*, 5’1 0*%’’*2%$%’’#$ )*4$ ;K L(?1(0)M ，NKO P’(?Q(* ，GR; S- （!#$ %$ ’#()*#)* )+ ,-- ./$0 1- /23 ，45#672586 963/8$ )+ 1- /23 ，:/6$ ;$25#6/23 #60 53/23 ，45/6$3$ ,2#0$= )+ !2/$62$3 ，45#672586 #C$$CC ，45/6# ） 67%,)3 ：8 4/-5-5T4* -2 5U-?7(E*)+(-)01 4’-5-)?6-.)5()M (E0M()M 7*5*65-/ U(5’ 4-+(5(-)?+*)+(5(V* 0)-7* () RW5/*E* O15/0V(-1*5 （RO9 ）/*M(-) U0+ 7*V*1-4*7 2-/ 0441T()M 5- 0 E--)?=0+*7 RO9 (E0M*/: J’* 7*5*65-/ E0()1T (+ 6-E4-+*7 -2 X(6/-6’0))*1 Y105*（XY ）+506F+ -4*/05()M () 4.1+*?6-.)5()M E-7* ，U*7M*?+5/(4 4-+(? 5(-)?+*)+(5(V* 0)-7* 0)7 6-//*105(V* 0)01-M 0)7 7050 4/-6*++()M 6(/6.(5: 8 5’/** *1*65/-7* U*7M*?+5/(4 4-+(5(-)? +*)+(5(V* 0)-7* U(5’ # EE 4*/(-7 0)7 C$ EE?7(0E*5*/ U0+ 7*+(M)*7 0)7 20=/(605*7 ，0)7 0 2/-)5?*)7 0)01-M 0)7 7(M(501 6(/6.(5 U(5’ E0W(E.E /05* -2 !$$ FGH 01+- U0+ 7*V*1-4*7: J’* -4*/05()M 6’0/065*/(+5(6+ -2 5’* 7*5*65-/ 4/-5-5T4* ()61.7()M =06FM/-.)7 /05* ，4.1+* ’*(M’5 7(+5/(=.5(-) 0)7 +405(01 /*+