电化学处理装置.PDFVIP

电化学处理装置 分　类　号 证　书　号 类型 申请国家 申 请 日 专　利　期　限 C25F00700 M317435 新型 中华民国 95/12/29 96/08/21～105/12/28 发　　明　　人 应　　用　　面 半导体产业、能源产业、金属制品产业、微机电 杨宗鑫、吴茂宾、洪俊宏 产业 特　色　及　优　点 提供一有效方法，解决在超临界流体电化学处理装置时，若需要阳极回转以加速离子传递效率或 阴极回转以获得更均匀及高质量之镀层，或应用于滚镀之场合时之装置。因此本发明之优点，即 在超临界流体电化学处理时，在高压下需要将槽体与阳极、阴极或搅拌轴绝缘，且阳极、阴极或 搅拌轴需回转的条件，提供一可行装置，以满足设备装置上的需求，使超临界流体电化学处理， 除可应用到高压、超临界流体环境下之优点外，尚可结合传统电化学处理之优点，以获得更均匀 及高质量之镀层，而且可将超临界流体电化学处理之方法应用在滚镀之场合。 摘　　　　　要 本创作提供一种电化学处理装置，包含压力容器、夹固件、迭固于压力容器且绝缘之二止推轴承 及贯穿止推轴承至压力容器之阳极导电旋转单元与阴极导电旋转单元，实施电化学处理时，待处 理物固设于阴极导电旋转单元，且夹固件夹持压力容器呈密闭状态，将复方高密度相电化学处理 流体容置于压力容器，并维持其在作业状态状态，并令止推轴承抵固二导电旋转单元于压力容器 ，藉由阳极导电旋转单元进行搅拌形成乳胶状之复方高密度相电化学处理流体，以形成导电回路 ，而阴极导电旋转单元进行旋转连动待表面处理物回转，以使欲沉积物质析出并沉积至待处理物 表面。 申请专利范围 图　式　首　页 1.一种电化学处理装置，系运用一高密度相流体、一电 化学处理液及一界面活性剂混合作为一复方高密度相电 化学处理流体，用以将一待处理物进行电化学处理作业 ，该电化学处理装置包含：一压力容器，该压力容器包 含为绝缘性之一槽本体及一盖体，该盖体系覆盖于该槽 本体上，且形成一容置空间并用以储存该复方高密度相 电化学处理流体，并形成压力以维持该复方高密度相电 化学处理流体保持在作业状态；一夹固件，该夹固件系 夹固于该槽本体与该盖体，以使该压力容器之该容置空 间形成密闭状态；一第一止推轴承，该第一止推轴承系 设置于该槽本体底部，并与该槽本体保持绝缘状态；一 第二止推轴承，该第二止推轴承系迭固于该盖体，并与 该盖体保持绝缘状态；一阳极导电旋转单元，该阳极导 电旋转单元穿设于该第一止推轴承，并经该槽本体之底 部而贯穿该槽本体，且容置于呈密闭状态之该容置空间 中，并与该槽本体保持绝缘状态；以及一阴极导电旋转 单元，该阴极导电旋转单元穿设于该第二止推轴承，并 贯穿该盖体至该槽本体，且容置于呈密闭状态之该容置 空间中，而与该阳极导电旋转单元相对，并与该盖体保 持绝缘状态，该阴极导电旋转单元系更包含一固持部用 以供该待处理物固设；藉由该阳极导电旋转单元于该容 置空间进行搅拌作业，以形成乳胶状之该复方高密度相 电化学处理流体，而该阴极导电旋转单元进行旋转连动 该待处理物回转，并藉该阳极导电旋转单元与该阴极导 电旋转单元形成导电回路，以使该复方高密度相电化学 处理流体析出一欲沉积物质于该待处理物上。