磁控溅射制作铝电解用惰性阳极.PDFVIP

第 卷 第 期 山 东 理 工 大 学 学 报 （自然 科 学 版） ![ ! T= ) ![ += ) ! 年 月 （ ） $’’( ! Q=JN:@ =K 0E@:M=:; 8:,OCNF,IP =K 4CLE:==;P 0L, ^ 4CLE Q@: ) $’’( 文章编号： （ ） !#$ % !# $’’( ’ !% ’’$ % ’( 磁控溅射制作铝电解用惰性阳极 ! $ ! ! 郭兴龙 ，杨百梅 ，薛成山 ，刘亦安 （ 山东师范大学 半导体研究所，山东济南 ； ! ) $*’’ !( $ ) 淄博职业学院，山东 淄博 $**’ !$ ） 摘 要：利用磁控溅射的方法，在 基体上形成致密的氧化物薄膜，用做铝电解实验的惰性 +, 阳极 用 射线衍射（ ）分析、电子显微（ ）分析，对实验前后薄膜的成分、形貌进行了 ) - -./ 01 2 定性分析和观察 实验结果表明：薄膜纳米尺寸的微小颗粒紧密排布；在 冰晶石熔盐电 ) ’ 3 解质中，试样电极具有良好的耐腐蚀性能) 关键词：磁控溅射；惰性阳极；纳米颗粒；铝电解 中图分类号： 文献标识码： 4 5 !!! ) *$ 6 !#$%%’() (* ’)# %)(+# ’) %,-.’)’-. #,#/(, 1’1 2 .% )#() 1 -#’) 0 0 3 $ 3 ! $ ! ! ， ， ， 7 8 9 -,: =: 6+7 ?@,ABC, - 81 DEC: FE@: GH 8 , @: ; % ; ; % % （ ， ， ， ； !) H:FI,IJIC =K 0CB,L=:MJLI=NF 0E@:M=:; +=NB@ 8:,OCNF,IP Q,:@: $*’’ !(