碳化硅薄膜脉冲激光晶化特性研究！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 8 7 %C 7 ， ， ， EA+ 08 WA 07 Q=6) %C （ ） $-%9R%CR8 7 R $9-8 1*T1 GMU.V*1 .VWV*1 !%C */6 0 GN 0 .AB 0 碳化硅薄膜脉冲激光晶化特性研究! ! 于 威 何 杰 孙运涛 朱海丰 韩 理 傅广生 （河北大学物理科学与技术学院，保定 #$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） % ’