C掺杂型NiCr合金薄膜的电性能和微观结构-宁波大学学报》（理工版.PDF

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2017-06-24 发布于天津
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C掺杂型NiCr合金薄膜的电性能和微观结构-宁波大学学报》（理工版

272, 20144 Vol.27 No.2, Apr. 2014 JOURNAL OF NINGBO UNIVERSITY ( NSEE ) C NiCr 1 2 , 1. , 315016; 2. , 518055 : C NiCr , NiCr NiCrC . : NiCr C , Ni(011)Ni(111); ; C . : C Ni Cr ; ; ; : O631.3 : A : 1001-5132201402-0073-05 , NiCr(80/20 at.)(99.99)C( (Surface Mounting Technology, SMT) 99.99), (99.999) . , VLP (18 μm) , , (PCB), NiCrC . NiCrC , , , [1-2]. , , [10]. (FR-4), , , , (PCB)[3], , [1]. , NiCr . , -90 V, NiCr NiCr(80/20 at.) 3 A, 5.3×10-3 Pa, 0.16 Pa, (TCR)[4-6], Ar 25 mL·min-1, 4 r·min-1, . NiCr . C NiCr , , AlSiFeAu , C 0.2, 0.5, 0.8 1 [7], A. NiCr C 10 min, , . . [8-9]NiCr C , NiCr Ar 10 min, . . Hitachi S-4800 (SEM) 1 CSPM5000 UDP-650/4