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第九章_扫描电子显微镜
第九章 扫描电子显微镜
(Scanning Electron Microscope,SEM)
;;扫描电子显微镜结构和成像原理;
9.1 电子与物质的相互作用
; 9.1.1 电子散射; 9.1.1 电子散射; 9.1.2 背散射电子; 9.1.3 二次电子; 9.1.3 二次电子; 9.1.3 二次电子; 9.1.3 二次电子; 9.1.3 二次电子;
9.2 扫描电子显微镜结构和成像原理
; 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理; 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理; 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理; 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理; 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理; 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理; 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理; 9.2.1 扫描电子显微镜的工作原理; 9.2.2 扫描电子显微镜的结构; 9.2.2 扫描电子显???镜的结构; 9.2.2 扫描电子显微镜的结构; 9.2.3 扫描电子显微镜的性能; 9.2.3 扫描电子显微镜的性能; 9.2.3 扫描电子显微镜的性能; 9.2.4 扫描电子显微镜的特点; 9.2.4 扫描电子显微镜的特点; 9.2.5 样品制备; 9.2.6 影响电子显微镜影像品质的因素;
9.3 场发射扫描电子显微镜
;9.3.1 场发射扫描电子显微镜的结构;9.3.1 场发射扫描电子显微镜的结构;9.3.2 场发射扫描电子显微镜的特点;
9.4 电子探针显微分析
(Electron Probe Microanalysis,EPMA)
;9.4.1 EPMA原理和结构;9.4.1 EPMA原理和结构;9.4.2 X射线能谱仪(EDS);9.4.2 X射线能谱仪(EDS);9.4.2 X射线能谱仪(EDS);9.4.2 X射线能谱仪(EDS);9.4.2 X射线能谱仪(EDS);9.4.3 X射线波谱仪(Wavelength Dispersive Spectrometry, WDS);9.4.3 X射线波谱仪(Wavelength Dispersive Spectrometry, WDS);9.4.3 X射线波谱仪(Wavelength Dispersive Spectrometry, WDS);9.4.4 定性分析;9.4.5 定量分析;9.4.5 定量分析;9.4.5 定量分析;9.4.5 定量分析;9.5 其它电子成像技术结合EDS分析;
9.6 EMPA-扫描电子显微镜
分析方法和应用
;9.6.1 分析方法;9.6.2 应用
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