利用扫描探针显微镜表征薄膜材料的表面显微形貌.PPT

纳米薄膜材料的高分辨率显微分析 指导教师：王志红 实验目的 基本原理 仪器介绍 操作步骤 数据处理 实验报告 一、实验目的 通过本课程实验，要求学生了解进行材料表面形貌和显微结构分析的技术和设备；了解扫描探针显微镜的仪器构造、功能，掌握SPM的工作原理和检测方法，掌握SPM的主要功能模式； 利用扫描探针显微镜表征薄膜材料的表面显微形貌； 掌握材料形貌、显微结构的分析判断和图像处理方法。 二、基本原理 AFM：接触式原子力显微镜工作原理是利用一个一端固定，另一端装有对微弱力敏感的针尖的弹性微悬臂来检测样品的表面起伏。 先让针尖与样品表面轻轻接触,然后让针尖在样品表面扫描； 同距离有关的针尖与样品间的原子间斥力（10?8~10?5N）就会引起微悬臂的形变。激光器的激光束照射到微悬臂的背面，利用光电检测器检测接收到的激光强度便可得到微悬臂的形变量，成像系统采用前述恒力或变化形变模式。 样品—针尖之间的相互作用（吸引，排斥）使MC变形。激光束照射到MC背面，再反射到光电检测器。当MC发生形变时，使检测器 四个象限接受到的激光强度发生改变。不同象限激光强度差值与MC形变量会形成比例关系。光电转换输出电压，通过检测样品不同扫描位置的电压（电流）变化便可获得形貌图 。 2.2 DFM 在C-AFM的基础上，动态模式原子力显微镜DFM 是在针尖加一小的振荡信号，针尖扫描过程中间断地与样品接触,针尖与样品间的作用力将引起振荡频率或振幅的变化, 测量这个变化值并通过成像系统成像,从而得到样品的表面形貌。 Principle of DFM 2.3 STM STM：根据量子力学中电子隧道效应，当具有原子尺寸的探针尖足够接近试样表面时 ，二者之间的电子波函数产生交叠作用。 在针尖—试样之间施加一小偏压，使隧穿电子有序运动形成隧道电流： I∝e -2kd 式中, k为金属表面电子波函数在绝缘层势垒中的衰减常数, 在真空中 k= 2?√2m? / h h—— Plank constant m——the mass of electron ? ——有效局域功函数，近似等于势垒高度 从上式可知： 当间距d 增加0.1nm ,相应隧道电流减小一个数量级; 若电流改变2%，对应d的变化为0.001nm。 说明隧道电流对间距反映极为敏感，呈指数衰减关系。 由于针尖—试样间距的微小变化，即可使隧道电流成指数急剧变化，当针尖在样品表面扫描时，记录该电流并成像，可得到试样表面起伏情况— 形貌图。 三、仪器介绍SPA-300HV 仪器主要功能 扫描隧道显微镜、原子力显微镜、开尔文力显微镜、扫描非线性介电显微镜、磁力显微镜、压电力显微镜 四、实验步骤 启动电脑主机 启动 SPI3800N 探针控制系统 启动操作软件，选取显微镜功能 样品制备及安装 安装悬臂，并调整激光 设置参数，测试样品 数据处理与分析，实验信息记录 退出操作软件 关闭探针控制器 关闭电脑 关闭交流稳压电源 五、数据处理 纠斜 平坦化 表面分析 三维立体图形 六、实验报告 实验目的 实验内容 实验原理 实验器材 实验步骤 实验结果 分析讨论 * ? 一端固定的微悬臂MC (Micro-cantilever), （臂长数um), 另一 端装有针尖（直径几 —20nm） microcantilever Cantilever Tip 2.1 Principle of AFM Pre-Amp. Computer Z Control X,Y Control Optical Lever System Cantilever L.D. P.S.D. Sample Monitor Z Axis Servo System X,Y-Scanning System PZT Scanner Z Axis Servo System Computer Monitor X,Y-Scanning System Z Control X,Y Control Piezo Scanner Optical Lever System Cantilever L.D. P.S.D. Sample PZT Crystal Compulsory vibration RMS-DC Converter Principle of STM Metal Probe X,Y-Scan Computer Monitor Bias Voltage Electron Cloud PZT Scanner Tunnel Current Electric Conductive Sample Z-Servo Tunnel Cur