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多晶硅铸锭炉热场结构的改进与模拟
Hot Working Technology 2014,Vol.43,No.13
● 铸造技术●
多晶硅铸锭炉热场结构的改进与模拟
1,2,3 1 2,3 1 1 2,3
罗玉峰 , 宋华伟 , 张发云 , 饶森林 , 彭华厦 , 王发辉
( 南昌大学机电工程学院,江西南昌 ; 新余学院新能源科学与工程学院,江西新余 ; 江西省高等学
1. 330031 2. 338004 3.
校硅材料重点实验室 江西新余 )
, 338004
摘 要:在多晶硅铸锭炉内采用了凹坑坩埚和凹坑坩埚平台组合的改进结构,并结合COMSOL4.3a 模拟软件对改
进前后的热场做了对比分析。结果表明:与改进前相比,在改进后的热场结构中,硅熔体结晶界面趋于平坦,等温线更加
均匀,熔体轴向温度梯度增加了大约2 K/cm ,有利于柱状晶的生长;硅熔体对流强度增大,可以使溶质分布更加均匀;
G /V 变大、溶质边界层厚度减小,有利于阻碍结晶界面前沿发生组分过冷,进一步抑制结晶界面细晶的产生。
L S
关键词:多晶硅;凹坑坩埚;热场;数值模拟
中图分类号: ; 文献标识码: 文章编号:
TG249.7 TK124 A 1001-3814(2014)13-0064-05
Optimization and Simulation of Thermal System for Multicrystal Silicon
Casting Furnace
1,2,3 1 2,3 1 1 2,3
LUO Yufeng , SONG Huawei , ZHANG Fayun , RAO Senlin , PENG Huaxia , WANG Fahui
(1. Mechanical & Electronic College, Nanchang University, Nanchang 330031, China; 2. Institute of New Energy Science and
Engineering, Xinyu College, Xinyu 338004, China; 3. Key Laboratory of Jiangxi University for Silicon Materials, Xinyu
338004, China)
:
Abstract The optimization of thermal structure uses the multi-crystalline casting furnace with notched crucible and pit
crucible pedestal, then the thermal distribution combining the simulation software with comsol4.3a before and aft
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