多晶硅铸锭炉热场结构的改进与模拟.PDF

Hot Working Technology 2014,Vol.43,No.13 ● 铸造技术● 多晶硅铸锭炉热场结构的改进与模拟 1,2,3 1 2,3 1 1 2,3 罗玉峰 ， 宋华伟 ， 张发云 ， 饶森林 ， 彭华厦 ， 王发辉 （ 南昌大学机电工程学院，江西南昌 ； 新余学院新能源科学与工程学院，江西新余 ； 江西省高等学 1. 330031 2. 338004 3. 校硅材料重点实验室 江西新余 ） , 338004 摘 要：在多晶硅铸锭炉内采用了凹坑坩埚和凹坑坩埚平台组合的改进结构，并结合COMSOL4.3a 模拟软件对改 进前后的热场做了对比分析。结果表明：与改进前相比，在改进后的热场结构中，硅熔体结晶界面趋于平坦，等温线更加 均匀，熔体轴向温度梯度增加了大约2 K/cm ，有利于柱状晶的生长；硅熔体对流强度增大，可以使溶质分布更加均匀； G /V 变大、溶质边界层厚度减小，有利于阻碍结晶界面前沿发生组分过冷，进一步抑制结晶界面细晶的产生。 L S 关键词：多晶硅；凹坑坩埚；热场；数值模拟 中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： TG249.7 TK124 A 1001-3814(2014)13-0064-05 Optimization and Simulation of Thermal System for Multicrystal Silicon Casting Furnace 1,2,3 1 2,3 1 1 2,3 LUO Yufeng , SONG Huawei , ZHANG Fayun , RAO Senlin , PENG Huaxia , WANG Fahui (1. Mechanical Electronic College, Nanchang University, Nanchang 330031, China; 2. Institute of New Energy Science and Engineering, Xinyu College, Xinyu 338004, China; 3. Key Laboratory of Jiangxi University for Silicon Materials, Xinyu 338004, China) ： Abstract The optimization of thermal structure uses the multi-crystalline casting furnace with notched crucible and pit crucible pedestal, then the thermal distribution combining the simulation software with comsol4.3a before and afte