电子显微分析1-绪论及电子光学基础.pptVIP

金属电子显微分析 绪 论 微观结构(microstructure)决定宏观(macroscopical)性质 任何一种材料的宏观性能或行为都是由其微观结构所决定的. 微观结构 材料的化学组分(composition) 元素分布(elemental distribution) 组成相(phase)的形貌(morphology) (包括形状/大小/分布等) 晶体结构(crystal structure) 各个组成相之间的取向关系(orientation)和界面状 态(interface) 晶体缺陷(defect)的密度(density)和组态等 通常用来研究材料微观结构的方法(method) 光学金相显微分析 X射线衍射 化学分析方法 这些技术在材料的研究中发挥了重要的作用 传统方法存在的问题 光学金相方法-分辨率受到光波衍射的限制,只能提供微米左右的形貌细节图象 X射线衍射-聚焦困难,衍射信息强度较弱,只能获得总体或平均的结果 湿法和光谱化学分析-无法给出微观的成分不均匀性资料 电子光学仪器新设备相继出现 TEM (Transmission electron microscopy) SEM (scanning electron microscopy) EPMA (electron probe microanalyzer)电子探 针X射线显微分析仪 SIMS (secondary ion mass spectrometry)离子 探针 AES (Auger electron spectrometer)俄歇电子能谱仪 最重要的显微分析手段-TEM 特点 高空间分辨率:可提供极其微细的材料组织结构情况 SAED(selected area electron diffraction)： 使微观形貌和晶体结构对应起来 原位(In situ)观察：利用各种特殊样品台对样品 进行高分辨率条件下的系统动态观察，揭示材料相 变和形变过程中组织结构的变化规律 TEM设计基础 设备介绍 样品制备 应用 。。。 第一章 电子光学基础 电子显微镜：是一种高放大倍数、高分辨本领，综合性能好的新型分析仪器。 要学习掌握电子显微镜的原理，首先要对光学显微镜进行了解 两者都属于光学放大仪器，基本光学原理相似 区别在于使用照明源和聚焦成像的方法不同：前者用可见光照明，用玻璃透镜聚焦成像；后者用电子束照明，用一定形状的静电场或磁场（静电透镜或磁透镜）聚焦成像。 光的折射(refraction)是光学透镜成像的基础 光的折射：光从一种介质传播到另一种介质时发生光的折射 折射服从以下规律： (1)入射光、折射光和介质界面的法线在同一平面内 (2)满足关系： 对玻璃，最大的孔径半角α=70°~75°，物方介质为油情况下，n≈ 1.5，其数值孔径 nsin α ≈1.25 ~ 1.35。因此上式可以简化为： 顺着电磁波谱往短波长方向看,紫外线波长比可见光短(3900-130埃). 不能使用的原因:绝大多数样品物质都强烈地吸收短波长紫外线,因此可供照明的紫外线限于波长2000-2500埃,所以应用紫外线作照明源,显微镜分辨本领可达1000埃左右. 另外,X射线波长很短,在100-0.5埃范围,但是至今不知道有什么物质能使之有效地改变方向,折射和聚焦. 讨论: 1.加速电压比较低时,vc (speed of light in vacuum), m=m0; 当一个速度为ν的电子，沿着与等电位面法线成一定角度方向运动，电位面上方电位为U1、下方为U2，那么电子由U1电位区进入U2电位区的瞬间在交界点O处运动方向发生突变，电子运动速度由v1变为v2。因为电场对电子作用力方向总是沿着电子所处点等电位面法线，从低电位指向高电位。所以电子所触点等电位