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电子显微镜及其附属设备的结构、基本原理、 用途及其使用 方法 第一部分 透射式电子显微镜 1.透射式电子显微镜外形及其基本结构 电子光学系统 电子枪、电子束 加速线圈、透镜 系统、物镜系统、 成像系统、消像 散系统、电子对 中系统等 真空系统 真空系统的组成：机械泵、扩散泵、离子泵、真空管道、循环水系统等 数据采集系统 数据采集系统包括：CCD数据采集系统、PHOTO采集系统； 高压及其电源系统 高压箱、高压电缆、高压瓷瓶、电子束发射枪、电源等。 电子控制系统 电源控制系统、电子束调整系统、电子光路调整系统、电子成像控制系统、真空控制系统、模式选择系统等。 2.透射电子显微镜的基本工作原理 * 组成：电子光学系统； 高压系统；数据采集系统；电子控制系统；真空系统等五大部分。 电子枪 镜筒 照相室 DP IP RP 电子光学系统 的工作原理 LaB6灯丝在高电压的作用下，产生一束高能电子束。经过透镜、物镜、消像散等系统的调整，形成一束近似平行光的电子束，作用于试样。电子束与试样将发生各种各样的作用。主要形成透过电子、弹性散射电子、非弹性散射电子 *
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