SuPro Instruments 薄膜应力仪FST150-V2.0.pdf

Simple ！ FST 150 简单！ FILM STRESS TESTER ——— Automatic Measurement ！ 薄膜应力测量仪 全自动测量！ ——— Smart Optical Detector ！智能光标位置探测器！ High Cost-effective ！ Based on classic Stoney formula principle, advanced control technology 高性价比！ and smart operation make the FST150 film stress tester particularly suit- able for measurement in fast characterization of film residual stress. SuPro Instruments LTD 基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进控制技术和傻 速普仪器 瓜化的操作，使得FST150 薄膜应力测量仪特别适合于要求快速测 量常规薄膜残余应力。 Nanshan High Tech-Park, Shenzhen, China 源自中科院金属研究所和深圳职业技术学院相关研究成果转化！ Https:// 专利号：ZL 2008 2 0010152.X ；ZL 2013 2 0839499.6 Tel: 86-755 Fax: 86-755 Email: sales@ 技术规格 参数 基本原理 曲率法Stoney公式 薄膜应力测试范围 5 MPa ～50GPa 曲率半径测试范围 0.3 ～ 20 m 薄膜应力计算误差 ＜±2% 曲率半径测试误差 ＜±1% 测试平台行程 X 方向：100 mm / Y方向：50 mm 样品尺寸 长方形样品 样品定位 自动定位原点 样品校正 可计算校正原始表面不平直影响 主要功能 自动测量采集计算曲率半径和薄膜应力 电源电压 220