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SuPro Instruments 薄膜应力仪FST150-V2.0
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量常规薄膜残余应力。 Nanshan High Tech-Park,
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源自中科院金属研究所和深圳职业技术学院相关研究成果转化！ Https://
专利号：ZL 2008 2 0010152.X ；ZL 2013 2 0839499.6 Tel: 86-755
Fax: 86-755
Email: sales@
技术规格 参数
基本原理 曲率法Stoney公式
薄膜应力测试范围 5 MPa ～50GPa
曲率半径测试范围 0.3 ～ 20 m
薄膜应力计算误差 ＜±2%
曲率半径测试误差 ＜±1%
测试平台行程 X 方向：100 mm / Y方向：50 mm
样品尺寸 长方形样品
样品定位 自动定位原点
样品校正 可计算校正原始表面不平直影响
主要功能 自动测量采集计算曲率半径和薄膜应力
电源电压 220
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