激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法测定碳化硅器件中杂质元素 - 分析化学.PDFVIP

第42 卷 分析化学 (FENXI HUAXUE )摇 研究简报 第1 期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 2014 年1 月 Chinese Journal of Analytical Chemistry 123 ~126 DOI:10.3724/ SP.J.1096.2014.30698 激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法测定碳化硅器件中杂质元素 1,2 *2 2 2 2 2 周 慧 摇 汪 正 摇 朱 燕摇 李 青摇 陈奕睿摇 屈海云 2 1 *1