电致发光成像技术在硅太阳能电池隐性缺陷检测中的应用.PDF

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电致发光成像技术在硅太阳能电池隐性缺陷检测中的应用

32 4 Vol32 No4 2011 4 CH INESE JOURNAL OF LUM INESCENCE Apr. , 2011 : 2011) 0403780 电致发光成像技术在硅太阳能电池 隐性缺陷检测中的应用 1 1 1 1 2 1, 3* 李艳华 , 潘 淼 , 庞爱锁 , 武智平, 郑兰花, 陈 朝 ( 1. , 36100 ; 2. , 36100 ; 3. , 36100 ) : ( E lectrolum inescence, EL ) EL 8 0~ 1 200 nm EL , EL CCD EL, EL EL , EL : ; EL; ; CCD : TN3831 PACS: 78. 60. Fi; 84. 60. Jt PACC: 7860F; 8630J : A DOI: 10. 3788/ fgx 0378 ; DLIT InGaA s 1 引 言 , DLIT , EL 1 s CCD , , DLIT , EL , , EL , , EL , , ( L ight beam induced current, LBIC) , ( Electron beam induced current, , EBIC) [ 12] ( Dark lockin thermogra phy, DLIT) [ 34] LBIC EBIC ( LED) DLIT , , , EL 8 0~ 1 200 nm, , DLIT EL : : : 2007 ( 2007HZ00 2) : ( 1984 - ), , , Em ail: liyanhua9201@ yahoo. com. cn * : ; Em ail: cchen@ xmu. edu. cn, Tel: ( 0 92) 21824 8 4 , : 379 EL , [ ] 0. 7 ~ 3. 0 V EL , , 3 结果与讨论 , ; , 3. 1 EL # ,

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