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磁控溅射TiN/Si,N4纳米复合膜的制备及其环境摩擦学特性
第26卷 第3期 材料科学与工程学报 总第113期
8L
No.3 ofMaterialsScience
V01.26 Journal Engineering Jun.2008
05
文章编号:1673—281212008)03—0380
磁控溅射TiN/Si,N4纳米复合膜的制备及其环境摩擦学特性
杨友志1,郑晓华1’2
(1.浙江大学材料科学与工程系。浙江杭州310027:
2.浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室。浙江杭州310032l
【摘要】
HRTEM等对薄膜的组织结构和形貌进行了表征。采用划痕仪和球一盘式摩擦仪分别测试了薄膜的结合力和在
大气及真空中的摩擦学性能。结果表明,TiN/Si。N。复合薄膜由纳米TiN相镶嵌于非晶态si。N。基体内构成。薄
膜中Si含量的增加可抑制纳米TiN相的长大,降低薄膜摩擦系数,薄膜的摩擦学性能得到改善。溅射气压升高导
致薄膜呈柱状结构,结合力下降,摩擦系数和磨损率上升。0.2Pa下制备含12.9at.0ASi的TiN/Si。N。复合薄膜在
潮湿空气和真空中均具有良好的摩擦学性能。
【关键词】TiN;纳米复合膜;磁控溅射;摩擦与磨损
中图分类号:TGll5.5 文献标识码:A
of
and Performancethe
TiN/Si3N4
PreparationTribological Composite
Films atDifferent
Deposited
byMagnetronSputtering
YANGYou—zhil,ZHENGXiao-hual,2
ofMaterialsScienceand MOE
(1.Department Engineering,ZhejiangUniversity,Hangzhou310027,China;2.TheKey
ofMechanicalManufactureand of 310032,China)
Laboratory Technology,Hangzhou
Automation,ZhejiangUniversity
[Abstract]TiN/Si3N4nano filmswere on steelDC
composite preparedhigh-speedby magnetronsputtering.The
and werecharacterizedEDS,XRD.SEMandHRTEM.Theadhesionto
composition,microstructuremorphology by
substrateand in andvacuumwereevaluatedscratchtestandball—on-disktribometer
tribologicalperformanceatmosp
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