磁控溅射技术制备7(;GT涂层的研究进展!-材料导报.PDF

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2017-06-24 发布于天津
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磁控溅射技术制备7(;GT涂层的研究进展!-材料导报.PDF

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磁控溅射技术制备7(;GT涂层的研究进展!-材料导报

材料导报综述篇年月上第卷第期磁控溅射技术制备涂层的研究进展金浩张莹莹时卓张罡沈阳理工大学装备工程学院沈阳沈阳工业大学材料科学与工程学院沈阳辽宁省轻工科学研究院沈阳沈阳理工大学材料科学与工程学院沈阳摘要概述了采用不同磁控溅射技术制备涂层的国内外研究现状与发展趋势重点分析了涂层的结构力学性能涂层氧化行为与耐腐蚀性能提出了不同磁控溅射制备工艺的进一步优化结合和新型磁控溅射制备工艺的研究是未来磁控溅射技术制备涂层的新趋势在进一步提高涂层性能的基础上需深入探究该类硬度涂层的工业新应用潜力关键词磁控溅射涂层中图分类号文献标识码