纳秒激光电化学复合掩模的微细加工.PDFVIP

纳秒激光 电化学复合掩模 的微细加工 王耀 民 ，张朝 阳 ，李 中洋 ，毛卫 平 （ ， ） 江苏 大 学 机械 工程学 院 江苏 镇 江 ２１２０１３ 　 　 摘要 ：在 激 光传输光路中加入掩模 对激 光束进行空 间调 制 ，采 用纳秒脉冲激 光 器 、纳秒脉冲 电源 和 ／ 的 电解液对 不锈钢 进行 掩 模 微 刻蚀加 工试 验 研究 。利 用伏 安 法测定 １ｍｏｌ Ｌ ＮａＮＯ ３０４ ３０４ 　 ３ 不锈钢 阳极 电流 随平均 电压 的 变化 规律 ；选 用平均 电压 、脉冲 频 率 、脉冲宽 度 １．５Ｖ ２．０ＭＨｚ 　 　 、激 光 能量 的工 艺参数 ，在 所构 建 的试验 系统中，分 别进行 了激 光 电化学复合掩 模 ６０ｎｓ １６０ｍＪ 　 　 和 盐溶液 中的激 光掩 模加 工试验 。结果表明 ：在 阳极钝 化 区内 ，纳秒脉冲激 光 电化学复合加 工 能 够显著提高加 工速 率和 加 工表 面质量 ，实现了线 宽约 为 １３０ ｍ、热影响 区 小 的 微 细 刻 蚀 加 工 ， μ 证 实了纳秒脉冲激 光 电化学掩 模加 工在微 细加 工 中具 有很大 潜 力 。 关键词 ：纳秒脉冲 ；激 光 电化学 ；复合加 工 ；掩 模 ；微 细加 工 中图分类号 ： ； 文献标识码 ： 文章编号 ： （ ） ＴＨ７０３ ＴＮ３０５．７ Ａ １６７１－４７７６ ２０１２ ０５－０３３６－０４ 　 　 ＮａｎｏｓｅｃｏｎｄＬａｓｅｒＥｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌＣｏｍ ｏｕｎｄ 　 　 　 ｐ Ｍａｓｋｉｎ Ｍｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ｇ 　 ， ， ， Ｗａｎ Ｙａｏｍｉｎ Ｚｈａｎ Ｚｈａｏ ａｎ ＬｉＺｈｏｎ ａｎ Ｍａｏ Ｗｅｉ ｉｎ ｇ ｇ ｙ ｇ 　 ｇｙ ｇ 　 ｐ ｇ 　 　 （ ， ， ， ） Ｓｃｈｏｏｌｏ ＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎ ｉｎｅｅｒｉｎ Ｊｉａｎ ｓｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔ Ｚｈｅｎｉａｎ ２１２０１３ Ｃｈｉｎａ 　ｆ 　 ｇ ｇ ｇ 　 ｙ ｊ ｇ