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输出正交正弦波的光栅尺在位移测量中的脉冲细分原理-自动化仪表
输出正交正弦波的光栅尺在位移测量中的脉冲细分原理 金建新
李士勇，等 模糊控制和智能控制理论与应用 哈尔滨：哈尔滨工
! ! !
业出版社，
##$ 收稿日期： 。
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陈伯时 自动控制系统 北京：机械工业出版社，
% ! ! # 作者周一军，男， 年生， 年毕业于上海工业大学，工程师；主
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王永初 最佳控制系统设计基础 北京：科学出版社，
’ ! ! #$ 要从事控制系统的设计与开发工作。
输出正交正弦波的光栅尺在位移测量中的脉冲细分原理
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金建新
（华中理工大学机械学院，武汉 ’%$$*’ ）
摘 要 讨论了输出正交正弦波的光栅尺（又称光栅线位移传感器）在位移测量中的脉冲细分原理。基于该原理，可将光栅尺位移测
量分辨率提高 + % 个数量级。还介绍了单片机光栅尺位移测量系统，该系统具有自动消除累积误差、计数长度无限制的特点。
关键词 位移测量 光栅尺 正弦波 脉冲细分
（ ）
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路正弦信号。这些信号的空间位置周期为 。目前，
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. 引言
对前者的处理技术比较成熟，其最高分辨率为 K
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