野崎·内田.PDFVIP

http://www.w3-4f5f.ee.uec.ac.jp/ 该研究室开发在紫外光的照射下，在更低温的环境中 研究课题 化合物半导体材料〃器件与半导体纳米棒的 氧化堆积的硅氧化膜的UV 氧化法，在作为下一代电子学 野 制作、应用 而备受关注的柔性基板上的IC 制作所需的栅氧化膜的低 温制作以及 GaN、SiC 等高品位栅氧化膜制作比较困难 崎 纳米技术，化合物半导体，LSI 工艺，MOVPE， 的半导体材料中，他们成功地制作出了栅氧化膜。目前他 · 关键词 LED，HBT （异质结双极型晶体管），氧化物半导 们采用UV 氧化法，用印刷技术来开发将堆积的各种金属 进行低温氧化，在软性基板上制作氧化物半导体集成电路 体，DLTS 的印刷〃软性电子学的基础技术。 半导体纳米棒的制作及应用 内 野崎 眞次 所属专业 研究生院信息理工学研究科 先进理工学专业 半导体纳米棒的制作及应用 Shinji NOZAKI 研究成员 野崎 真次 教授，内田 和男 副教授 该研究室通过化学合成来制作NiO、ZnO 的纳米棒。 田 所属学会 American Physical Society, Materials Research Society, 他们开发仅在指定的位置制作ZnO 纳米棒的选择性生长 用于光刻实验的 100 级无尘室 Electrochemical Society, IEEE，应用物理学会 技术等，还有将P 型NiO 和N 型ZnO 纳米棒层积在一 研究设备 制作化合物半导体器件用的MOCVD （有机金属气相外延装置），半导 起的PN 接合的紫外光LED 和探测器。 研 体工艺用的 10000 级及 100 级无尘室，各种半导体器件工艺装置， 究 傅里叶变换红外光谱仪 （FTIR），透过〃吸收测量，拉曼光谱，光致发 优 势 拥有不逊于企业的设备和风险企业 室 光，器件的电气测量(I-V、C-V) ，LED 评价装置，SPM （AFM/STM) ， 拥有不逊于企业的设备和风险企业 DLTS 野崎教授和内田副教授在美国的研究生院和企业拥