原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
半导体特性的调制自由载流子吸收变距频率扫描方法研究！
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
@) ’ ’ ’ ， ， ，
S,/ ?@) R, ?’ P2912+724 ’
（ ）
!CF’K’K@) ’ K%@%C% =L MNOPQ= PQRQ= !’ =I6: ? MIT8 ? P,5 ?
半导体特性的调制自由载流子吸收变距
频率扫描方法研究!
）） ）
李 巍! # 李斌成! $
!）（中国科学院光束控制重点实验室，中国科学院光电技术研究所，成都 %!’ ）
）（中国科学院研究生院，北京 !(’ ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
) ! ! ’ ! *
根据调制自由载流子吸收（ ， ）检测技术的三维理论模型，采用变间距频率扫
+,-./012- 3422 5044624 078,4916,: ;=
描方式测量单晶硅样品的电子输运参数，进行了仿真与实验，对结果进行了分析；通过多参数拟合，获取了测试样
品的载流子扩散系数、少数载流子寿命和前表面复合速度? 仿真与实验都表明，变间距频率扫描结合多参数拟合，
可以提高输运参数的测量精度?
关键词：调制自由载流子吸收，电子输运参数，变间距频率扫描，多参数拟合
： ， ，
!## *)@A )!*= )!*A
［— ］
(
数拟合同时确定 ，， 等参数 ，拟合结果精
! ! !
［ ］
!G 引 言 !(
度不高 ； 等采用在多个频率处做抽运光 探
HI0:J C
［ ， ］
测光相对位置的径向扫描曲线和多参数拟合!) !’ ，
半导体电子输运参数（
文档评论（0）