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多脉冲激光作用下光学薄膜损伤的累积效应_王涛
35 6 Vol. 35 No. 6
2006 6 ACTA PHO T ON ICA S INICA June 2006
1, 2 1, 2 1, 2 1 1 1
王 涛 赵元安 黄建兵 贺洪波 邵建达 范正修
(1 , 20 1800)
(2 , 100039)
研究了高反射膜在多脉冲 光作用下损伤的累积效应.实验中使用 1064 nm调Q 的Nd ∶
YAG 光器,脉宽是12 ns,频率为10 Hz.实验发现:高反射膜的损伤阈值随辐照脉冲数增加而降
低,表现出明显的累积效应.通过对损伤阈值和损伤概率以及辐照次数的统计性研究,并结合单脉
冲辐照的结果, 说明了存在于薄膜中微小的缺陷参与了多脉冲 光对薄膜的损伤过程,得到了制备
IBS 高反射膜的损伤阈值和照射次数的关系式,用Nomarski 偏光显微镜观察了实验过程中样品的
损伤形貌, 发现是典型的缺陷损伤.
Ta2 O5 /SiO2 介质反射膜;累积效应;单脉冲;多脉冲;损伤阈值
O484. 4 A
.
0
.
, .He-Ne
[1～4]
, .
, . 、.
[5 ～8]
, .
. 1. 2
(IBS )
, . 、 Ta2 O5
, . SiO2 .
S-ON-1,
1
,
1. 1 ;,
1, ,.
(TEM00 )QNd ∶YAG,1064 nm, 10 .,
12 ns, 10 Hz. p =n/ 10, n 10 .
.
2
2. 1
2 ,
, .
图1 激光损伤测试装置
Fi . 1 Experimental setup of laser dama e testin
T el:02 1 699 18462 Email:w an tao @opfilm. com 图2 样品损伤阈值结果
收稿日期:2005 00 04 Fi . 2 LIDT results of the samples
860 35
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