EGm50KV电子枪电源-SpellmanHighVoltageElectronics.PDF

EGm 50KV 电子枪电源 S PELLMA N HIG H V O LTA G E ELE T RO NI S O RPO RAT IO N 第1 页，共 3 页 • 射线束能量、灯丝电源和发射电流的本地或远程控 制 • 集成浮地灯丝电源 • 主动的偏置系统 • RS-232 控制和检测接 口 高稳定性 小于 。 • , 2.5ppm • 提供 OE 定制 /manuals/EGM 斯派曼精密的电子枪电源设计用于实现非常高的稳定性 监测： 和低纹波。EGM50 包含完整的浮地灯丝电源和主动的偏置。 通过 RS232 进行数字监测。 通过后面板上的 BN 连接器提供模拟输出检测 通过 RS-232 接 口进行全功能控制，减少了最终产品开发时 前面板检测： 间和简化了系统集成。对射线束能量、灯丝电源和发射电流 显示屏 1：射线束能量或偏置电压 的安全本地和远程控制，提供了最佳的运行效率。 显示屏 2 ：发射电流 显示屏 3 ：灯丝电源 尺寸： 典型应用 2 x 3U 19” 机架式电源 电子束蚀刻 重量： 半导体检测 控制模块：10 千克 (22磅) 高压模块：40 千克 (68磅) 扫描电子显微镜 合规认证： 符合 EM 2004/ 108/E 指示和低压 2006/95/E 指示。 规格 射线束能量 输入电压： 90-260Vac 输出电压： -50kV (固定输出) ，通过远程控制，可调节 ± 2% 。 输入电流：