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SEM Mill 离子研磨抛光仪
SEM Mill 离子研磨抛光仪
离子研磨抛光仪是一台高质量的 SEM 样 FISCHIUNE
INSTRUMENTS
品制备台式精密仪器,满足几乎所有应
用材料的制备。
应用材料种类广泛
可利用离子研磨抛光仪 1060 进行加工的材料来种类十分广泛,包括由多元素组
成的试样,以及具有不同机械硬度、尺寸和物理特性的合金、半导体材料、聚合
物和矿物等。如焊缝截面、集成电路焊点、芯片 BGA 切片、多层薄膜截面、颗
粒纤维断面、复合材料、陶瓷、金属及合金、岩石矿物及其他无机非金属等各种
材料的 SEM 样品。
1
MODEL 1060
离子研磨抛光仪
1060 是一台具有目前最先进技术的离子研磨抛光
系统,设计精巧,操作方便,性能稳定。1060 不
断应用于制备高质量的 SEM 样品,满足苛刻的成
像及分析要求,且满足几乎所有应用材料的制备。
• 两束独立可调的专利电磁聚焦离子束源
• 高能量离子束用来快速研磨,低能量离
子束可提供更加温和的磨抛效果
• 可调的离子束直径
• 简便的研磨参数设置
离子研磨抛光仪
• 离子束源气体独立自动控制
离子研磨抛光仪是通过物理科学技术来加 • 离子束入射角 0 到 +10 度持续可调
强样品表面特性。使用的是惰性气体中具 • 样品可摆动和旋转加工
有代表性的氩气,通过加速电压使其电离 • 体视显微镜直接观察和控制样品制备过
程(选配)
并撞击样品表面。在控制范围内,通过这
• 高倍率显微镜成像视频系统直接观察和
种动量转换的方式,氩离子去撞击样品表
控制样品制备过程(选配)
面从而达到无应力损伤的 SEM 观察样品
• 标准版和专业版两个版本满足您不同层
次的需求
2
MODEL 1 060 离子研磨抛光仪
先进的样品制备技术 在样品夹具、样品仓或者样品表面上。
如今 SEM 在快速研究分析高端材料结构和 离子束源加速电压可以通过程序设定,从
性能方面被认为是一种非常理想的方式。 100 eV 到 6.0 keV 连续可调。快速研磨时可
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