微奈流中介面现象之物理观点.PDFVIP

微奈流中 介面現象之物理觀點 Physical Aspects of Interfacial Phenomena in Micro- and Nanofluidics 宋齊有 (Chyi-Yeou Soong) 逢甲大學航太與系統工程學系特聘教授 e-mail: cysoong@.tw; Tel: 04 摘要 －微奈尺度流動中有許多有趣的物理議題，尤其是在 介面區發生的一些現象。本 文並非全面回顧性的綜論 文章，僅依個人研究興趣介紹出現於微奈流中 幾項重要介面現 象 ，著重於物理機制解說及對微流之影響 ，其中也包括 多物理耦合之案例 。最後附錄筆 者最近十年在微 奈流介面現象領域相關之研究著作供讀者查閱與 參考。 一、引言 科技發展隨時代演進 ，廿世紀中葉起，資訊科技 、半導體微電子、微機電/ 系統、 奈米科技、生物科技、能源科技等依序豋場。此一演進明顯有趨向輕 、薄、短 、小之勢 ； 而半導體製程所 發展 之 先進微製造 技術使得配合此趨勢之微奈系統 (Micro-