氩离子轰击感生Ni2Al3和NiA13成分变化的TEM／EDS研究.PDF

第 39卷 第 2期 仓 属 学 跋 V0l1．39 No．2 2003年 2月 113— 119页 ACTA M ETALLURGICA SINICA Feb． 2003 PP．113—119 氩离子轰击感生 Ni2Al3和 NiA13成分变化 的TEM ／EDS研究 别、丽 陈厚文 王 蓉 (北京科技大学材料物理系，北京 100083) 摘 要 在能量为3，5和7keV 的氩离子轰击下，对激冷Ni一50％Al(质量分数)合金薄膜进行减薄，用配备有超薄窗口能 谱仪的高分辨电镜观察分析了减薄后样品中两种合金相 Ni2Ala和 NiAl3的结构和成分变化．结果表明，在离子轰击下，合金相 Ni2Al3和 NiAla的成分均有变化，Ni含量明显高于合金相化学配比．随着离子能量的降低，轰击后合金相中 Ni含量增加．在 3keV氩离子轰击下两个相的含 Ni量均高达 87％(原子分数)左右，在离子轰击过程中初始的NiAla相点阵结构未发生明显变 化，而 Ni2Al3的初始结构在 3和 5keV氩离子轰击减薄后部分转变为体心立方结构． 关键词 离子轰击， Ni2Ala，NiAl3，择优溅射，辐照感生成分变化 中图法分类号 TGll1．1，TG146．1，TG146．2 文献标识码 A 文章编号 0412—1961(2003)02—0113-07 ATEM ／EDSINVESTIGATIONONRADIATION_——INDUCED COM POSITION CHA NGES OF N i2A laAND N iA la UNDER BoM BARD M ENT W ITH Ar+ IoNS ．SUN Li CHEN Houwen w ANG Rong DepartmentofMaterialsPhysics，UniversityofScienceandTechnologyBeijing，Beijing100083 Correspondent：wANGRonglprofessor,Tel：(OloFax：(Olo E—mail：teacherwanqrong@sohu．corn SupportedbyChinaPetrochemicafCompanyFoundation M anuscriptreceived 2002-10—08 ABsTRAcT ArapidlysolidifiedNi-50％A1fmassfraction)alloyribbonmainlyconsistingofNi2A13 andNiA13phaseswasAr+ ionetched with energiesof3．5and 7keV respectively and thespecimens wereexaminedbyhighresolutionelectronmicroscopy (HREM 1withsuper—thin—window EDS．The resultsshow thatunder3-7keV Ar+ ionbombardment，thecompositionsofbothNi2Al3andNiA13 changegreatly and theNiconcentration ismuch higherthan the corresponding stoichiometricone． W ith decreasing the ion energy the content ofNiin the phases increases． After 3 keV Ar+ ion bombardmentthecontentsofNiinthesetwophasesarenearlythesame，about87％ (atomicfraction)， theoriginalcrystalstructureofNiA13phaseiskept，whilethestructureofNi2A13phas