研究各种各样的材料，并进行结构和成份表征，是目前对扫描电镜的.PDF

岱美中国（D y m e k C h i n a ） 研究各种各样的材料，并进行结构和成份表征，是目前对扫描电镜的主流应用要 岱美有限公司成立于1989 年，总部位于 求。FEI Quanta™ FEG系列灵活、通用，足以应对当今人们广博的研究方向这 中国香港，在上海，东莞及北京均设有 一挑战。“分析任何样品，得到所有数据”，在Quanta FEG上可得到表面像和成 分公司，是一家拥有多年经验的国际性 份像，并可辅以多种附件来确定材料的性质和元素组成。复杂的任务。 高科技设备分销商；主要为半导体、 当今人们利用扫描电镜研究的材料早已超出单纯的金属和经导电处理过的样品。 MEMs 、光通讯、数据存储、高校及研 Quanta 50 FEG系列对任何样品都可得到高质量的图像和分析结果。无论是对现 发中心提供各类测量设备、工序设备和 今的或是将来的应用领域，FEI的Quanta 50 FEG系列都是一个高端的、灵活的 解决方案；拥有 80 多名训练有素的工 程师，能为各地区用户作出快捷可靠的 解决方案。其特点是，具有高真空、低真空和ESEM环境真空三种真空模式，适 技术支持和维修服务。 合分析最广泛的样品范围，从传统的金属材料、断口和抛光断面，到不导电的软 物质。 主要销售或提供技术支持的产品 ∙世界上唯一具有环境扫描技术的高分 晶圆键合设备、纳米压印设备、紫外光 辨场发射扫描电镜 刻机、步进式光刻机、涂胶显影机、硅 ∙在各种操作模式下分析导电和不导电 片清洗机、超薄晶圆处理设备、压力计、 样品，得到二次电子像和背散射电子像 流量计、残余气体分析仪、远程等离子 ∙最大程度降低样品制备要求:低真空/ 体源、光学轮廓投影仪、全自动非接触 环境真空技术使得不导电样品和/或含 式光学三坐标影像测量仪、三维X 射线 系统、电容式位移传感器、主轴跳动误 水样品不经导电处理即可直接成像和分 差测试系统、振动样品磁强计 (VSM)、 析，样品表面无电荷累积现象 粗糙度检测仪、薄膜厚度检测仪、等离 ∙专利的“穿过透镜”的压差真空系统， 子清洗设备、电镜 (SEM)、透镜 (TEM)、 对导电和不导电样品都可进行 能谱系统 (EDS) 、原子力显微镜 EDS/EBSD分析，不管是在高真空模式 (AFM)、防振台系统、三维原子探针材 或在低真空模式。稳定的大束流(最大 料分析仪 (Atom Probe)、激光干涉仪、 200 nA)确保能谱及EBSD分析工作的 ∙电镜可作为一个微观实验室。安装特殊的原位样品台 平面／球面大口径动态激光干涉仪、氦 快速、准确 后，在从- 165 °C到1500 °C温度范围内，对多种样品 质谱检漏仪、紫外线固化仪、碳纳米管 生长设备等。 ∙对导电样品，可选用减速模式得到表 保持其原始状态下进行动态原位分析 面和成份信息 如有疑问欢迎随时与我们的 Quanta 50 FEG系列是基于前两代成功的肖特基场发射环境扫描技术开发的第 电子显微镜方案专员联系 三代Quanta系列产品。这一系列产品用户界面使用起来十分方便、灵活，有多 唐小姐 种功能最大程度地发挥其使用效率，并且允许采集所有需要的数据。它是电