穿透式电子显微镜(TEM)实验报告班级：奈米四乙姓名：陈凯威学号.DOC

穿透式電子顯微鏡(TEM) 實驗報告 班級：奈米四乙 姓名：陳凱威 學號指導老師：王聖璋 TEM原理 穿透式電子顯微鏡的原理有點像一個幻燈片投影機。投影機利用光線照射幻燈片，幻燈片上的圖案只容許部分光線通過。於是透射的光線便複製了幻燈片上的圖案，投影至屏幕。不同的是它讓電子束 (就像投影機的光束) 穿透樣本 (就像幻燈片)。TEM、STEM與EDS之結構與運作原理。 透過實際分析，認識TEM的不同影像差異與用途。 明視野 Bright field image 暗視野 Dark field image 電子束繞射 Diffraction pattern 高解析原子影像 High resolution image EDS成份分析 analysis 實驗儀器 FEI TECNAI F20 Field Emission Gun Transmission Electron Microscope EDS：EDAX 結構與工作原理 TEM的主要結構分為五大部分： 電子光學系統 照明系統(電子槍，場發式) 成像系統(使用CCD，桌子底下) 像的觀察系統 真空系統(整部機台都是) 電子部份 電源供應 其他 震動抑制(使用防震氣墊) 樣品台(試片放置位置) 電磁波防護(雜訊過濾) 分析樣品 Sm doped CeO2(SDC) 奈米粒子(在碳膜上) 樣品觀察與分析 放入試片於載台 TEM 的合軸與校正 放入物鏡光圈與不放入物鏡光圈的明視野影像觀察 以這兩張照片來看，可以了解有物鏡比沒有物鏡的照片解析度來的好也，比較清楚，感覺上也比較柔和，無目鏡的照片感覺比較粗糙，還有亮點的干擾(比如圈出來的部份) 轉換到電子束繞射模式 影像提升至高倍率400K以上，像差調整。 觀察SDC的原子影像 調整TEM至STEM模式 相較於TEM模式的話照片模糊許多，而且像SEM一樣只能照出表面 EDS分析試片成份 電腦顯示出來的數值可以清楚的看到Ce與Sm的含量百分比 問題與討論 物鏡對TEM影像之影響的原理： 為TEM主要的透鏡組，可過濾偏離物鏡光軸太遠的電子，改善影像的聚焦狀況，提高影像的對比，也可選擇只有直射電子束或單一繞射電子束，形成明視野或暗視野。 說明EDS的分析原理： 針對電子束所激發的特性X光做材料成分分析。 特性X光和歐傑電子產生之機制十分類似，當原子的內層電子受到外來能量源 (如：電子束、離子束或者光源等) 的激發而脫離原子時，原子的外層電子將很快的遷降至內層電子的空穴，並釋放出兩能階差能量。被釋出的能量可能以X光的形式(特性X光)釋出，或者此釋出的能量將轉而激發另一外層電子(歐傑電子)使其脫離原子。由於各元素之能階差不同，因此分析此 X光或歐傑電子的能量或波長，即可鑑定試片的各個組成元素。 參考資料 工程材料與材料分析檢測技術 報告 /吳忠春 Basic Operation and Analysis of Au nanoparticles 報告 /王禮國 原子世界 /atomic_world/tem/tem02_c.html 無物鏡 有物鏡 當物鏡光圈聚焦在中心(明視野) 當物鏡光圈聚焦在外圍(暗視野) 電子束繞射 5nm的影像(可以看到原子排序) 100nm的影像 利用原子影像來求平面指標(h k l) 黃色線條大約為5nm 兩條紅線的範圍大約有16條線，所以 D=5/16 =0.3125nm 換算成? =3.125? 對照表43-1002 平面指標(h k l)為(1 1 1) STEM模式 聚焦鏡光圈調整鈕 物鏡光圈調整鈕