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第二篇电子显微分析技术
第二篇 电子显微分析技术
第八章 电子光学基础
光学显微镜和电子显微镜的基本光
学原理是相似的，它们之间的区别仅在于所
使用的照明源和聚焦成像的方法不同，前者
是可见光照明，用玻璃透镜聚焦成像，后者
用电子束照明，用一定形状的静电场或磁场
聚焦成像。
第八章 电子光学基础
§8－1 光学显微镜的局限性
§8－2 电子的波性及波长
§8－3 电子在电磁场中运动和电子透镜
§8－4 电子透镜缺陷和分辨率
§8－5 电磁透镜的景深和焦深
§8－1 光学显微镜的局限性
1、一个世纪以来人们一直用光学显微镜来揭示材料
的微观结构，但光学显微镜的分辨能力有限的。
2、最小分辨距离计算公式：
d指物镜能够分开两个点之
1 间的最短距离，称为物镜
d ≈ λ λ 的分辨本领或分辨能力；
0.61
nsinα
2 λ为入射光的波长；
n为透镜周围介质的折射率
a为物镜的半孔径角
1 对于可见光的波长
在390~770nm之间
1
d ≈ λ λ
0.61 nsinα 2 N·A值均小于1，最
2
大只能达到1.5~1.6
光学显微镜其最大的分辨能力为0.2μ
增大N·A值是有限的，解决的办法是减小波长λ
由于光的衍射，使得由物平面内的点O O 在象平
1 、 2
面形成一B B 圆斑（Airy斑）。若O O 靠的太
1 、 2 1 、 2
近，过分重叠，图象就模糊不清。
L D 强度
B
2
Md
O
1 B
1
d
O
2
（a） （b）
图（a）点O O 形成两个Airy斑；图（b）是强度分布。
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