透射电子显微镜透镜稳流电源的研究.PDF

电子发烧友 电子技术论坛 透射电子显微镜透镜稳流电源的研究 The Study of Current-Invariable Lens Power Supply for TEM 1 1 2 2 （1.山东理工大学；2. 中科院电工研究所）刘 伟 赵艳雷 殷伯华 方光荣 Liu,Wei Zhao,Yanlei Yin,Bohua Fang,Guangrong 摘 要：本文以物镜磁透镜稳流电源为例，介绍了透射电子显微镜透镜稳流电源的结构和工 作原理。透镜稳流电源由前置高精度稳压电源模块、数模转换器、低漂移电压比较放大器、 高精度恒温基准电压源、电流输出前置驱动、电流输出功率模块、基准电阻、输出电流检测 模块等组成。通过检测基准电阻两端的电压并将其反馈到电压比较放大器形成对输出电流的 闭环控制，达到对电流稳定度的要求。透镜稳流电源受计算机的控制，能接收稳流电流参数， 并将电源的工作状态发送给计算机。实验结果表明该透镜稳流电源完全达到了设计指标，可 以满足透射电子显微镜各级磁透镜的要求。 关键词：透射电子显微镜；稳流电源；磁透镜 中图分类号：TN98 文献标识码：A Abstract: The construct and operating principle of the power supply for TEM is intrudced in this paper taking example for the object lens. The lens power supply is composed of pre high precision voltage- invariable power, digital-to-analog convertor, voltage-compare amplifier, high precision voltage reference, pre current output driver, current output power amplifier, reference resistance and current check module. Due to the voltage spanning reference resistance is feedback to the voltage-compare amplifier, output current is controlled in closed loop to keep invariable. The lens power can receive current parameters from compute and can transmite all kinds of working state back to the controlling compute. The lens power supply can satisfy the needs of TEM through experiment. Key words: TEM, current-invariable power supply, electromagnetism lens 透射电子显微镜是应用最广泛的一种电子显微镜，它是以电子束透过样品经过聚焦与放 大后投射到荧光屏上进行成像的。透射电镜放大倍数可达几十万倍，使用透射电镜观察样品 能获得高分辨率的超微结构图像，因此它是材料学和细胞学研究的重要仪器，在纳米技术的 研究及开发中同样为首选的科学仪器。透射电镜是当今受普遍关注的显微技术，具有十分广 阔的应用前景。 一、 透射电子显微镜电源系统 透射电子显微镜的电子光学系统由电子枪、聚光磁透镜、样品台、物镜磁透镜、多级中 间放大磁透镜、投射磁透镜、图像观察荧光屏组成。透射电子显微镜包含多个磁透镜，这些 透镜均需要独立的稳流电源，驱动电流范围 1～14A，而且需要非常高的电流稳定度，具体 指标见表 1，因此在设计透镜稳流电源时要充分考虑参数的稳定度，并且留有足够的功率余 量。 透射电子显微镜透镜稳流电源由数字信号处理器（DSP ）作控制单元，控制物镜