激光粒度仪原理介绍.pdf

综述： 激光粒度仪的光学结构 张福根 (珠海欧美克科技有限公司 广东 519085，E-mail:zfg@) 摘 要 本文收集了国内外各种商品化激光粒度分析仪的典型光学结构，分析了它们 的工作原理和性能特点。其技术特征可概括为：经典傅立叶变换结构、透镜后傅 立叶变换结构、双镜头结构、多光束结构、多波长结构、PIDS 技术、球面接收技 术、双向偏振光补偿技术和梯形窗口技术。现有的各种激光粒度仪或采用上述技 术中的一种，或者是两种甚至三种的组合。 关键词：激光粒度分析仪，光学 激光粒度仪从问世到现在已经有近 40 年的历史。相对于传统的粒度测量仪器 （如沉降仪、筛分、显微镜等），它具有测量速度快、重复性好、动态范围大、操 作方便等优点，现在已成为世界上最流行的粒度测量仪器。目前全世界约有 15 家 企业生产激光粒度仪，国外有近 10 家，国内有一定规模的约 5 家。激光粒度仪本 质上是一种光学仪器，其光学结构对仪器性能具有决定性影响。在近40 年里，出 现了多种光学结构。其演变的主要方向是扩展仪器的测量下限。本文拟对世界上 出现过的各种激光粒度仪的光学结构作一梳理和分析，希望对仪器的使用者更好 地识别仪器性能，对仪器的研发人员研制性能更优秀的仪器都能有所裨益。 本文所引用的光路图大多来自各仪器制造商公开散发的产品宣传资料。由于 这类资料都不是正式的出版物，不便在文章后的 “参考文献”中索引，还请被引 用单位 （或个人）、审稿人和读者谅解。审稿人和读者如需查阅被引用资料的详细 信息，可以向相应的仪器制造商索取。 1 激光粒度仪原理简介 激光粒度仪是利用颗粒对光的散射 （衍射）现象测量颗粒大小的，即光在行 进过程中遇到颗粒 （障碍物）时，会有一部分偏离原来的传播方向；颗粒尺寸越 小，偏离量越大；颗粒尺寸越大，偏离量越小 （见图1）。散射现象可用严格的电 磁波理论，即 Mie 散射理论描述。当颗粒尺寸较大 （至少大于2 倍波长），并且只 考虑小角散射 （散射角小于5°）时，散射光场也可用较简单的 Fraunhoff 衍射理 论近似描述。 图 1 光的散射现象示意图 图 2 激光粒度仪的经典光学结构 激光粒度仪经典的光路如图 2 所示。它由发射、接受和测量窗口等三部分组 成。发射部分由光源和光束处理器件组成，主要是为仪器提供单色的平行光作为 照明光。接收器是仪器光学结构的关键。测量窗口主要是让被测样品在完全分散 的悬浮状态下通过测量区，以便仪器获得样品的粒度信息。 图 3 光电探测器阵列示意图 接收器由傅立叶透镜 （见图2）和光电探测器阵列 （见图3）组成。所谓傅立 叶透镜就是针对物方在无限远，像方在后焦面的情况消除像差的透镜。激光粒度 仪的光学结构是一个光学傅立叶变换系统，即系统的观察面为系统的后焦面。由 于焦平面上的光强分布等于物体 （不论其放置在透镜前的什么位置）的光振幅分 布函数的数学傅立叶变换的模的平方，即物体光振幅分布的频谱。激光粒度仪将 探测器放在透镜的后焦面上，因此相同传播方向的平行光将聚焦在探测器的同一 3 ）由多个中心在光轴上的同心圆环组成，每一环是一个独立 点上。探测器 （见图 的探测单元。这样的探测器又称为环形光电探测器阵列，简称光电探测器阵列。 图 4 大小为 8μm 和 16