扩散硅压力传感器的温漂及补偿.pdfVIP

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2017-06-25 发布于上海
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扩散硅压力传感器的温漂及补偿.pdf

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扩散硅压力传感器的温漂及补偿

求，对已封装好的扩散硅传感器进行了零点及灵敏度的温度补偿，并设计出了简化的快速补偿法，取得了良好的补偿效果。最后，总结利弊，提出了对温度补偿的一些意见与研究探讨。关键词压力传感器；扩散硅：零点温度漂移；灵敏度温度漂移；温度补偿 Abstract 30 工t is inlast The siliconsensor deveIoped years． diffuse press rapidly to to methodofthe ofsilicon．Due ismade the piezoresistivity according term tominiaturization its accuracy，longstability，easy sensitivity，high in and industry etc．Itis used metallurgical，power wildly petroleum，chemical ste etc．Itusedfordetection alll，gas)pressure， fluid(1iquid， process Butsincethe different level． temperature Dressure， pressure，absolutely ofsilicon isalso effectof the sensor changed semiconductor，performance wecan’t asensorwithout drift， Because produce temperature bytemperature． isacrucialtechnical theresearch so。 temperaturecompensation probleⅢin and of siliconsensor． productionpressure inthesilicon each ofthe wheatstone Thereisa bridge diaphragm，part the