利用电子衍射方法标定多晶纳米薄膜结构参数 - 复旦大学物理教学实验 .ppt

一、项目简介项目背景 创新思路 1） 传统方法： 抽真空(机械泵、扩散泵，~10-3 Pa ) → 蒸发镀膜 → 暗室下装胶片 → 电子衍射 → 取胶片 → 冲洗, 晾干 →直尺测量 采用CCD成像 ，借助Photoshop获取图像的像素信息进行测量，通过Excel进行数据处理。 劣势： 不方便多次测量消除误差[7]， Photoshop只能用于测量[6]，Excel只能用于计算。 用离子溅射镀膜机代替蒸发镀膜，分别制备了500埃，100埃的银膜 。 用CCD采集图像，分别在30KV和40KV的高压下采集图像，得到较清晰的衍射环进行数据处理。 开发了兼图像与数字处理为一体的电子衍射程序，利用计算机强大的计算功能进行图像处理和数值分析 用离子溅射镀膜机较准确的控制膜厚，根据需要制备理想厚度的薄膜，衍射条纹更明显 省去换底片及冲洗照片的环节，节省时间 方便计算机处理 多次手动取圆环三点坐标测直径并取平均值法消除误差，提高测量精度 二、实验 完成新的实验系统的搭建和调试 完成实验用软件的编写 编写新的实验讲义一份 实验系统改进 传统的电子衍射实验系统 改进后的实验系统 CCD参数 最高分辨率：2048×1536 象素尺寸： 3.2um×3.2um 传感器类型：Progress scan CMOS 光学尺寸： 1/1.8 清晰度： 900线 信噪比： 42dB 动态范围： 60dB 敏感度： 1.0V@550nm/1ux/S 自编写实验软件测量 自编写软件数据处理 实验结果与分析 传统方法和CCD方法比较 不同加速电压（电子波长）实验比较 不同厚度薄膜实验比较 计算结果的比较 两种方法相对误差与标准方差的比较 不同电压下相对误差与标准方差的对比 进一步工作 薄膜厚度延伸实验探讨 电子衍射波长延伸实验探讨 应用于其他种类薄膜晶格常数测量 总结: 实验改进成功，利用CCD和计算机方便的对实验图像进行了测量和数据处理，体现了现代化测量手段进行数据处理的优势 通过改进，整合了实验资源，丰富了实验内容 使用离子溅射镀膜机方便的控制了薄膜的厚度使衍射环更加清晰 自编了图像处理和数据处理软件 对传统方法和改进方法的实验结果进行了比较，对改进方法不同实验条件下的实验结果进行了比较 六、参考文献 [1].高立模，夏顺保，陆文强. 大学近代物理实验[M].天津：南开大学出版社,2006,206~217. [2].张晓燕. 电子衍射实验中确定晶面指数的简便方法[J]. 昭乌达蒙族师专学报., 2002, 23（3）：22~23 [3].朱文钧. 把数字图像技术进入近代物理实验[J]. 物理实验，2001，21（9）：26~27 [4].冯一兵，冀晓群. CCD及其在物理实验中的应用[J]. LABORATORY SCIENCE，2007，（2）：86~88 [5]. 潘学军，吴倩. 电子衍射实验数据的采集与处理[J]，物理实验，2004，24（6）：26~28 [6]. 张明轩，于津江，吴海滨等. “电子衍射”实验的图像采集和数据处理系统[J]. 石家庄师范专科学校学报，2003，5（6）：19~20 [7].聂远，王慕冰. 用VC++语言编程实现电子衍射实验数据采集与处理[J]，物理与工程，2007，17（4）：33~35 [8].陈城钊. 电子衍射实验数据的计算机处理[J]，韩山师范学院学报，2003，24（3）：29~32 [9]钱能.C++程序设计教程[M]. 北京:清华大学出2004. 谢谢！ 我们的团队 * * 利用CCD技术和离子溅射镀膜方法改进电子衍射实验 小组成员： 苗金露 杨莉莉 姚 榛 南开大学物理实验教学中心 2008-11-1 报 告 人： 陆文强 第五届全国高等学校物理实验教学研讨会 一、项目简介 二、改进成果 三、实验结果与分析 内容提要： 电子衍射实验是曾荣获诺贝尔物理学奖的重大近代物理实验之一，1927年Davsso和Germer首次实验验证了De Broglie关于微观粒子具有波粒二象性的理论假说，奠定了现代量子物理学的实验基础。 1937年授予他们诺贝尔物理学奖，以表彰他们用晶体对电子衍射所作的实验发现。 现已成为近代物理实验的重要内容。 面心立方晶系： h、k、l 为晶面指数