压力釜对制备氧化锌奈米结构影响之研究 - 建国科技大学.doc

壓力釜對製備氧化鋅奈米結構影響之研究 *白世南 鄭仲凱 建國科技大學電子工程研究所 500彰化市介壽北路1號 *E-Mail:snbai@ctu.edu.tw 摘要 本研究探討以自製之壓力釜來改變氧化鋅奈米結構之成長。實驗中藉由低溫之水熱製程，於銦錫氧化物(ITO)玻璃基板成長氧化鋅(ZnO)奈米結構。製備過程所使用之反應物為硝酸鋅(Zn(NO3)2．6H2O)及六亞甲基四胺(Hexamethylenetetramine, HMTA)混合水溶液。實驗結果顯示，於低溫水熱法製程中，通入適當之壓力得以控制氧化鋅奈米結構之成長型態。當壓力釜達到一適當之壓力時，由於釜內壓力形成之溶液飽和蒸汽壓，抑制氣泡於基板表面形成，使得氧化鋅奈米結構之成長更均勻。 關鍵字：壓力釜、水熱法、氧化鋅、奈米結構。 1. 前言 所謂奈米科技（nanotechnology），就是在奈米（nm）尺度下藉由適當之方法來改變物質之特性，以製備、了解及使用具奈米結構之材料、元件及系統。ㄧ般之奈米尺度，是以1~100nm為範圍，當物質之之結構尺寸小到奈米尺度時，其物理、化學及生物性質 [1]可能會與塊材時截然不同。全球展開對奈米科技之探討熱潮，有越來越多之研究趨向於如何製備奈米結構材料與應用其特殊性質。近年來，一維（one-dimension）奈米結構材料如奈米棒（nanorod）、奈米線（nanowire）、奈米管（nanotube）及奈米帶（nanobelt）等更是引起了許多之關注，由於幾何形態不同及內部結構特殊，使其不論是在科學研究或工業技術上都呈現出高潛在之應用價值。 半導體奈米結構由於製備容易，因此廣泛地被使用於各種測試系統中，以觀察材料維度與尺寸對物理性質之影響，諸如表面效應（surface area effect）、尺寸效應（size effect）及量子效應（quantum effect）等，這些特殊之性質都可能應用於新興之電子元件上。由於目前積體電路已發展至奈米尺寸，所以奈米元件之研發有其必要性，而光電奈米元件常應用之寬能隙II-VI族半導體材料中，又以氧化鋅（ZnO）成本低廉與容易合成最引人矚目，因此氧化鋅奈米結構之研究也隨之興起。 近年來製備氧化鋅一維奈米結構受到廣泛之研究，尤其是在高科技應用領域，從太陽電池、感測器、光觸媒、光電元件到表面聲波等 [2-4]。常見之方法有熱蒸鍍法(Thermal Evaporation)[5]、VLS法(Vapor-Liquid-Solid)[6-7]、化學溶液合成法(Chemical Solution Synthesis)[8]、水熱合成法(Hydrothermal Synthesis Method) [9-12]等。由於水熱法所需設備簡易，只需低溫即可生成品質良好之結構，具有低成本，低汙染之優點。本研究將利用自製可調壓式壓力釜於水熱法製備過程中通入壓力，來探討壓力因素對其奈米線成長之影響。 2. 實驗方法 本研究之實驗流程如圖1所示，選用銦錫氧化物(ITO)玻璃作為基板；使用乙醇及去離子水清洗基板；並使用可調壓式壓力釜配合低溫水熱法製備氧化鋅奈米結構。實驗中以掃瞄式電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)進行表面結構分析：以X-光能量散佈光譜儀(Energy Dispersive X-ray Analyzer, EDX)做化學組成分析。 圖1 實驗流程圖 如圖2 [13]所示，可利用壓力釜在一個密閉反應容器之容積百分比和溫度所產生之壓力，找出最適合之反應條件。其原因為於反應槽內，反應溶液受熱後，一方面汽化成蒸氣，另一方面體積也會膨脹，溶液於反應溫度時之體積，可由室溫中溶液佔容器體積之百分比決定。 圖2 密閉容器溶液反應溫度與反應體積之壓力關係 本實驗採用默克(MERCK)股份有限公司所生產之硝酸鋅（Zn(NO3)2．6H2O）和六亞甲基四胺（Hexamethylenetetramine, HMTA）。以乙醇、與離子水交替進行基板清洗。再以硝酸鋅及六亞甲基四胺混合不同濃度之水溶液成長氧化鋅奈米線。首先以銦錫氧化物(ITO)玻璃作為基板，基板使用乙醇及去離子水分別交替清洗，之後再以氮氣噴拭乾淨後備用；之後於可調壓式壓力釜內，加入不同濃度之水溶液，並通入適當之壓力開始反應。實驗中以硝酸鋅及六亞甲基四胺（Hexamethylenetetramine, HMTA）混合0.055M、0.065M、0.075M及0.085M濃度之水溶液，於溫度95℃下持溫1小時。 3. 結果與討論 圖3為不同濃度水溶液0.055M、0.065M、0.075M和0.085M於常壓下所成長氧化鋅奈米線之SEM結構圖。由SEM結果顯示，於低溶液濃度之氧化鋅奈米線分佈稀疏而不均勻，有些區域還有奈米團簇