纳米级精度数控机床在太赫兹真空电子器件制造中的实验概述 - 天津大学 .docVIP

纳米级精度数控机床在太赫兹真空电子器件制造中的实验概述 徐 鹏 飞 天津大学机械工程学院机械工程专业2016级硕士生 摘要：太赫兹频段真空电子器件的尺寸很小,其加工精度和表面质量要求很高,需要采用微加工技术和一些特殊的加工工艺，常见的微加工技术有微细电火花加工、LIG-A/UV-LIGA和DRIE等加工技术，本文先对常用的几种微加工技术进行了介绍，然后对纳米级精度数控机床在太赫兹频段真空电子器件加工制造中的可行性进行探讨，并列举出国外的相关实验进程。 关键词：纳米级数控机床 太赫兹 真空电子器件 微加工技术 0 前言* 太赫兹波是指频率在0.1～ 应用于慢波设备微细加工的方法有很多，比如微细电火花加工技术、DRIE技术和LIGA/UV-LIGA技术等等。最近，添加制造技术（3D打印技术）也正在进行慢波设备微细加工的摸索实验。 但是，一般人都忽略了数控加工的方法。大家普遍认为，直接加工不能满足高频真空电子器件的公差和表面粗糙度的要求。然而，经过实验证明，数控机床加工方法能够达到高频电子器件的要求，同时还能满足热电性能的规定。国外已经有人使用纳米级超高精密数控机床建立了交互式结构的高频电子器件。除此以外，这种技术已经应用到复合纳米钪钨阴极、光学反射镜、光反射器、高频转换器、耦合器的加工制造中。 1 常用微加工技术的介绍 微细电火花加工 对于太赫兹低频端器件,电火花技术是一种主要的加工手段。例如,W波段、140 GHz和220 GHz折叠波导的慢波结构和束流通道均可采用电火花加工。 但是,当电火花加工的表面粗糙度较小时,由于表面受到瞬时高温作用并迅速冷却收缩而产生拉应力,往往出现显微裂纹。此时,需要采用表面处理技术。 LIGA/UV-LIGA技术 但是,该方法的加工工艺尚未形成标准,实际应用还需要设计具体工艺。另外,该技术的加工周期较长,费用很高。 DRIE技术 目前,利用该工艺已经制作了220 GHz、650 GHz的折叠波导行波管，对于650 GHz的双平板叉指型慢波结构,同样可采用DRIE技术加工。该方法除了可加工平面周期结构的慢波电路之外,也可加工谐振腔型微纳速调管。 DRIE技术是一种相对比较成熟的技术,其制造工艺规范、能够获得高精度和高表面质量的微结构。目前,它是制作高频太赫兹真空电子器件一种非常合适的加工方法。 1.4 其它加工技术 2]。 2 纳米级精度数控机床的基本情况 国外相关实验使用的机床为DMG NN1000型号数控机床，因此主要对这款数控机床进行详细的介绍。这款五轴数控机床的移动精度达到了1nm/100mm，重复精度达到了5nm/ 100mm。数控机床所有轴上的轴承都使用了空气轴承，机床还加入了线性伺服系统，用激光器对运动和位置进行反馈，还使用了DMG Mori自己开发的控制系统。目前机器中主轴的最高转速为50000转/分钟，其它型号的数控机床允许的最高主轴转速可达160000转/分钟。NN1000高精度的数控操作系统可以为我们使用材料去除技术进行微观结构的微细加工提供帮助。 2.1 NN1000的刀具 图1 NN1000的刀具 a）钎焊金刚石磨头b）直径为0.3046mm的球头立铣刀c）直径0.076mm的立铣刀，旁边是人的头发 2.2 NN1000的夹具 图2 基于紧凑型220GHz的电路的法兰的加工 346GH的返波振荡器双脊波导电路的夹具实体模型图 c）346GHz的返波振荡器双脊波导电路冷测试完成图 3 3.1 94 GHz的带状注速调管电路 图3 a）由NN1000 数控机床加工的W波段带状注速调管图 b）三个缺口的空腔显微图 c）样品的三缺口模型内腔以及尺寸图 空腔内表面的表面粗糙度为115nm，（94 GHz对应的趋肤深度为210nm），如图3 b）和c）所示，上方配合表面的表面粗糙度小于40nm。 3.2 220 GHz的带状注速调管三层交错双栅电路 图4 a）中层线路图 b）底层线路图 c）顶层电路的输入、输出波导装配结构图 d）输出波导和扩散连接的三层电路结构图 e）机械加工在中层电路上的切口的SEM图像图 f）去耦合器设计的EM模式结构图 g）经过外部机械加工的电路结构图 h）去耦合器的设计图i）交错双栅电路单元图 3.3 带有串联耦合器的紧凑型220 GHz的带状注速调管交错双栅电路 图5 a）220GHz带状注速调管的半电路图 b）紧凑型电路的SEM图像 3.4 263GHz带状注速调管的两层交错双栅电路 263 GHz的带状注速调管的两层交错双栅冷测试电路已经经过了加工、扩散接合和测试实验。电路布局如图6 a）所示，扩散接合冷测试结构如图6 b）所示。实验结果表明，带宽为25GHz时，约有5 dB的损耗和15dB的传输窗口，用于加工的刀具是