06第四章 电子探针.pptVIP

第四章 电子探针（X射线成份分析 ） 一、X射线讯号的发生 二、波谱（波长散射谱仪WDS） 三、能谱（能量散射谱仪EDS） 四、波谱、能谱比较 五、定性与定量分析 电子探针仪结构示意图 一、X射线讯号的发生 谱 特征X线谱： 大家知道X射线谱是由于原子的内层电子能级之间跃迁产生的。为了使这种跃迁成为可能，必须逐出一个能层电子已产生一个空位。在电子探针分析中，所需要的内层能级电离是靠有足够动能的电子的轰击产生的。X线谱的波长是发射元素独有的特征。 二、波谱（波长散射谱仪WDS） 分光晶体 分光晶体表 三、能谱（能量散射谱仪EDS） 四、波谱、能谱比较 能谱仪优点 能谱仪具有如下一些突出的优点： 1)全谱分析速度快： 能谱仪可以在几分钟的时间内对Z的所有元素进行快速定性分析，因为它能同时接收和检测所有不同能最的X射线光子讯号，进一步的能量鉴别由电子学线路进行，数据可以方便地贮存或取用，不象波谱仪那样需要在全波长范围以内渐次地进行谱线扫描; 2)含量检测灵敏度高： 能谱仪Si(Li)探头可以放在离开发射源很近 (例如10cm左右)的地方，使X射线的收集立体角高得多，同时它无需经过晶体衍射，讯号的强度没有什么损失，再加上Si(Li)检测器对通常波长范围内的X射线光子检测效率均极高，几乎为100，所以能谱仪的灵敏度叫比波谱仪高一个数量级 五、定性与定量分析 定性：含有那些元素，Z 定量：含量多少 根据强度比 ZAF校正 (1)原子序数Z校正 (2)吸收校正(A) (3)荧光F校正 * 分析区域：1μm 谱线分辨：10ev-120ev *