第5章 压电式传感器打印稿.ppt

1 在车床中用于动态切削力的测量 由于外力作用而使压电材料上产生电荷，该电荷只有在无泄漏的情况下才会长期保存。因此需要测量电路具有无限大的输入阻抗，压电材料的内阻无限大，而实际上这是不可能的。所以压电传感器不宜作静态测量，只能在其上加交变力，电荷才能不断得到补充，可以供给测量电路一定的电流，故压电传感器只宜作动态测量。 要使单压电晶片表面产生足够的表面电荷需要很大的作用力，所以在实际使用中常把两片或两片以上的压电片组合在一起。 二、压电元件的结构形式 由于压电晶片有电荷极性，因此接法有并联和串联两种。 （a）并联 （b）串联 并联连接式压电传感器的输出电容和极板上的电荷分别为单块晶体片的2倍，而输出电压与单片上的电压相等。即 在制作和使用压电传感器时，要使压电元件有一定的预应力，以保证在作用力变化时，压电元件始终受到压力。 其次是保证压电元件与作用力之间的全面均匀接触，获得输出电压（或电荷）与作用力的线性关系。这是因为压电晶片在加工时即使磨得很光滑，也难保证接触面的绝对平坦，如果没有足够的压力，就不能保证全面的均匀接触。 因此事先要给晶片一定的预应力，但该预应力不能太大，否则将影响压电传感器的灵敏度。 串联时，输出总电荷Q 等于单片上的电荷，输出电压为单片电压的2倍，总电容应为单片的1/2。即 串联接法输出电压高，本身电容小，适宜用于以电压作为输出信号、且测量电路输入阻抗很高的情况。 并联接法虽然输出电荷大，但由于本身电容亦大，故时间常数大，只适宜测量慢变化信号，并以电荷作为输出的情况。 当压电晶体片受力时，在晶体片的两表面上聚集等量的正、负电荷，晶体片的两表面相当于一个电容器的两个极板，两极板间的物质（压电材料）等效于一种介质，因此压电传感器可以看做一个电荷发生器，同时也是一个电容器。其电容量为 S——极板面积（压电片面积）； h ——压电片厚度； ?r——压电材料的相对介电常数； ?0 ——真空介电常数。 一、压电式传感器的等效电路 5.4 压电式传感器的信号调理电路 对此式可用两种电路来等效压电式传感器： 电压等效电路：一个电压源与一个电容Ca串联构成，此电路输出为 电压源 两极板间的开路电压为 只有在外电路负载无穷大，且内部无漏电时，受力产生的电压U才能长期保持不变；如果负载不是无穷大，则电路就要以时间常数RLCa按指数规律放电。 电荷等效电路：电荷源与一个电容Ca并联构成，此电路输出为 此时，该电路被视为一个电荷发生器。 电荷源 压电传感器在实际使用时要与测量仪器或测量电路相连接，因此还必须考虑连接电缆的等效电容Cc ，放大器的输入电阻Ri 和输入电容Ci ，以及压电式传感器的泄漏电阻Ra ，这样压电式传感器在测量系统中的等效电路就应如图所示。 压电式传感器的灵敏度有两种表示方式： 电压灵敏度：Ku = U／F，它表示单位力所产生的电压； 电荷灵敏度：Kq = Q／F，它表示单位力所产生的电荷。 它们之间的关系是 电压源等效电路 电荷源等效电路 二、压电式传感器的信号调理电路 压电元件实际上可以等效为一个电容器，因此，它也存在着与电容传感器相同的问题，即具有高内阻（Ra≥1010Ω）和小功率的问题，对于这些问题可以使用转换电路来解决。 为了保证压电传感器的测量误差小到一定程度，则要求负载电阻RL 要大到一定数值，才能使晶体片上的漏电流相应变小，因此在压电传感器输出端要接入一个输入阻抗很高的前置放大器，然后再接入一般的放大器。其目的：一是将它的高阻抗输出变换成低阻抗输出，二是放大传感器输出的微弱信号。 根据前面的等效电路，压电传感器的输出可以是电压，也可以是电荷，因此前置放大器也有两种形式：电压放大器和电荷放大器。 1.电压放大器 2. 电荷放大器 设R为Ra 和Ri 并联等效电阻，C为Cc 和Ci 并联等效电容，则 1. 电压放大器（阻抗变换器） 压电传感器的开路电压 ，若压电元 件沿电轴方向施加交变力 ， 则产生的电荷和电压均按正弦规律变化，压电元件上产生的电荷量为 d——压电元件所用压电材料的压电系数。 其电压为 电压的幅值 送到放大器输入端的电压为 因此，前置放大器的输入电压的幅值 输入电压和作用力之间的相位差 在理想情况下，传感器的绝缘电阻Ra 和前置放大器的输入电阻Ri 都为无限大，即ωR(Ca+Cc+Ci) 1 ，也无电荷泄漏。