透射电镜的原理和应用.ppt

主要内容: 电子光学基础 TEM的主要结构与成像原理 电子衍射 显微图像 元素分析 * 3 电子衍射 3.4.3 菊池衍射花样 菊池线是由经过非弹性散射失去较少能量的电子随后又受到弹性散射所产生的。 * * * * Transmission Electron Microscope (TEM) 杜罗军 导师：张立源 2013-06-12 * 图（a）点O1 、 O2 形成两个Airy斑；图（b）是强度分布。 O1 O2 d L B2 B1 Md 强度 D （a） （b） 1 电子光学基础 由于衍射，显微镜的分辨率d为： 1.1 光学显微镜的局限性 * 1 电子光学基础 显微镜的分辨率取决于波长，波长越短，分辨率越大。 光学显微镜 2000? 紫外线显微镜 1000? 对许多显微组织来说明显不够！！ 更短的波长！！ X射线？ 很遗憾，不能汇聚 运动的电子？ 磁透镜使其会聚 电子显微镜！ 由波粒二象性，电子波长 如 300kV, 电子波长0.0197?，远小于可见光波长 * 1 电子光学基础 1.2 磁透镜的聚焦原理 图：电子在磁透镜中的运动轨迹，以及A点位置的B 和v的分解情况 O O’ z A C 电子Lorentz力的作用下，产生一个绕轴旋转的切向速度 ，同时 作用于 ，产生一个使电子折向轴的聚焦力 ，在 的作用下，电子轨道弯曲折向对称轴，实现电子聚焦。 * 1 电子光学基础 电子磁场中受到Lorentz力： * 1 电子光学基础 1.3 电子透镜的像差 100kV的加速电压下，电子波波长为0.037? 根据 显微镜的最小分辨率理论可达0.02?左右。然而到目前为止，电镜的最佳分辨率仍停留在1-2?的水平。 ？？ * 1 电子光学基础 原因：电磁透镜存在像差 几何像差 色差 几何像差 球差：透镜中心与边缘对电子的会聚能力不同引起 畸变：球差引起，离径向距离不同放大倍数不同 像散：磁场的旋转对称性受到破坏，不同方向有不同聚焦能力 色差：电子速度效应。波长短能量大的电子具有较大的焦距，波长长能量小的电子具有较短的焦距 * 1 电子光学基础 1.4 电子透镜的分辨率 在磁透镜里，对分辨率影响对最大的是衍射效应和球差，考虑两者的和效应，有 目前准确的分辨公式与孔径角为： * 2 TEM的主要结构与成像原理 2.1 TEM的基本结构 TEM 电子光学系统 真空系统 电压控制系统 (1) 照明系统 (2) 成像系统 (3) 观察记录系统 电子光学部分是核心！！ * 2 TEM的主要结构与成像原理 Illumination system Imaging system Image viewing and recording * 2 TEM的主要结构与成像原理 电子光 学系统 成像放 大系统 观察和记录系统 照明 系统 电子枪 聚光镜 试样室 物镜 中间镜 投影镜 荧光屏 照相机 计算机 * 2 TEM的主要结构与成像原理 2.2 TEM的照明系统 阴极 控制极 阳极 电子束 聚光镜 试样 组成：由电子枪、聚 光镜以及相应的平移、 倾转和对中等调节装 置组成。 作用：是提供一束亮 度高、束斑小、照明 孔径半角小、平行度 好、束流稳定的照明 源。 2 TEM的主要结构与成像原理 2.3 TEM的成像原理—阿贝成像原理 阿贝成像原理: 物是一系列不同空间频率的集合.入射光经物平面发生夫琅和费衍射,在透镜焦面（频谱面）上形成一系列衍射光斑,各衍射光斑发出的球面次波在相面上相干叠加,形成像. ? ? 透镜 ? ? ? ? ? ? ? 阿贝成像原理 频谱面 像面 TEM，只是用电子束代替入射光束，薄膜样品代替周期性结构样品！！ 样品 物镜 物镜光阑 中间镜 投影镜 屏幕 选取衍射光阑 * 2 TEM的主要结构与成像原理 2.4 TEM的成像系统系统 组成主要包括： 物镜 中间镜 投影镜 物镜光阑 选区光阑 * 2 TEM的主要结构与成像原理 2.4.1 物镜 样品 后焦面 像平面 物镜 物镜是用来形成第一幅高分辨电子显微图象或电子衍射花样的透镜。电镜的分辨率主要取决于物镜，必须尽可能降低像差。 物镜通常为强励磁、短焦透镜（f = 1-3 mm，M=100—200×） 为进一步减小物镜球差，在物镜后焦面上安放物镜光阑。 * 2 TEM的主要结构与成像原理 2.4.2 中间镜 屏幕 投影镜 中间镜 物镜 中间镜将物镜所成的一次显微图像或衍射花样成像于投影镜的物平面上； 弱励磁、长焦距、变倍率透镜，放大倍数可调节0-20×； 控制电镜总放大倍数； 成像/衍射模式选择。 * 2 TEM的主要结构与成像原理 控制电镜总放大倍数： （a）高倍成像 样品 物镜