BAC线上活化设备应用于高科技产业之VOCs流体化床+SMD脱附系统的.PDF

BAC線上活化設備應用於高科技產業之VOCs流體化床+SMD脫附系統 的廢氣處理探討 sion 元太科技/廠務部-空調課 元太科技/廠務部-空調課 Bed、流體化床、線上活化裝置 摘要 因應半導體廠及TFT廠所使用的有機溶劑因製 ABSTRACT 程使用上不斷的改變，致使高、低沸點的有機溶劑 廢氣無法百分之百的分流處理，使得VOCs流體化 床+冷凝系統(Fluidized Bed Concentrator + Condenser System)，常常會面臨處理效率隨著運 轉時間增長而效率持續降低的問題，造成操作成本 的增加。元太科技主要研究改善的工程是利用新的 脫附技術(SMD:Spiral Moving Bed)來提昇活性碳 的脫附效率，有效減少活性碳更換的頻率，使活性 碳可以長時間維持一定的吸附能力，以符合「光電 材料及元件製造業空氣污染管制及排放標準」，減 少VOCs對環境危害的衝擊。 因製程排氣中高沸點VOC有機物及聚合物分子 殘存在活性碳微孔內部，導致活性碳孔洞堵塞造成 比表面積變小；則需增設線上活化裝置(Carbon Reactivation System)將活性碳阻塞物質完全脫 附出來；此次在業主與廠商共同討論催生下，元太 科技選用台灣自行研發的活性碳線上活化裝置系 統(吉能：GFDTechnologies 公司)取代國外設計 之活性碳的線上活化設備，其特色一為佔用之土地 面積小及操作容易快速，而且活性碳處理量比國外 設計的活化設備多上一倍以上，替元太科技節省大 量的運轉耗電量及避免鍋爐工檢等維修處理費 用，其特色二利用螺旋方式輸送並加入純水再生， 在高溫700~900℃瞬間使GBAC活性碳產生表火現 to our environment. 象活化其比表面積並延長活性碳使用壽命，雖然略 有活性碳磨耗及些許活性碳孔洞崩裂情況，但每年 僅需補充活性碳消耗材料之總量10%左右，可讓活 性碳重複的使用而不須委外處理及更換新碳增加 操作成本。 關鍵字：VOCs、活性碳、冷凝、SMD: Spiral Moving 1 smaller than; Then must additionally build 率有逐漸遞減的問題存在，設施運轉參數的調整效 on-line activation installment (Carbon 果不是非常顯著，於是委託工研院綠能所及材化所 reactivation System) to come off completely 針對VOC入出口成份及活性碳做採樣分析，分析的 the activated carbon blocking material; Under 結果提供元太科技及設備廠商對活性碳脫附技術 the owner and vendors discuss creating, E INK 的改善方向。元太科技採用新的 SMD(Spiral Holdings Inc. choose Taiwan self-developed Moving Bed)脫附技術及活性碳線上活化裝置後， activated carbon online reactivation device VOCs處理效率已經達到95%以上，符合「光電材料 system (GER-Carbon Regeneraive Technology)