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10 6 Vol.10 No.6
2 0 0 2 1 2 Optics and Precision Engineering Dec. 2 0 0 2
1004-924X(2002)06-0582-06
1 1 1 1, 2
周拥军 , 陈德强 , 黄文浩 , 夏安东
(1.中国科学技术大学 精密机械及精密仪器系, 安徽 合肥230026;
2.中国科学院 学所 分子反应动力学实验室, 北京100800)
:,
, 138μm× 138μm。 (PZT actuator)
, 。
, ,
。
:共焦显微镜;压电陶瓷驱动器;柔性铰链
:T H742.64 :A
,
[ 6]
1 引 言 。
Nipkow Disk
(confocal laser scan- 。
ning microscop , CLSM) ,
(tw o_photon
laser scanning microscop , TPLSM )
[ 7_8]
、 。
[ 1_2]
。 , 。
(CLSM ) ,
1。 。
, 。 Nipkow Disk
,
, 。 、 , 。
,
。 ,
, 。 。
。 ,
:(stage scan-
[ 3] [ 4]
ning) , (beam scanning ) , 、
[ 5]
(spinning disk ) 。 ,
。
。 ,
:2002-04-09;:2002-09-
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