沉积条件对沉积热力学与形貌的影响 - 无机材料学报.PDFVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 沉积 条件对 一 沉积热力学与形貌 的影 响 肖 鹏 , 徐永 东 , 黄伯 云 中南大 学粉 末 冶 金 国家重 点实验 室 , 长 沙 西 北 工 业 大 学凝 固技 术 国 家重 点 实验 室 , 西 安 摘 要 以 为源物质, 为载气 , 气为稀释气体 , 研 究 了沉积 温度和 沉积 气 氛压力对 沉积形貌 的影 响 应用 晶体成核 一 长大理论和 沉积热力学理论 , 解释 了 沉积 的各种形貌 研 究表 明 降低系统压力和提 高沉积温度 , 能减小 在气相 中形核所需的 最大能量 , 促进形 核 沉积 热力学随沉积条件 的改变决定 了 沉积形貌 的改变 关 键 词 形貌 沉积热力学 沉积条件 中图分类号 文献标识码 引言 以硅烷 类金属 有机物 如 , 为源物 质 , 采用 化学气相沉积 工 艺 沉 积 已被广泛地 用 于制备 复合材料 、 高温 陶瓷基 复合材料和 材料抗 氧化涂 层 等 沉积 的 的结构 、 形貌 对 基 复合材料 的性 能, 以及 涂层 的抗 氧化性 能有极 其重要 的影 响 从气态 的 热解沉积 出 的过程极其复杂 , 已有许多文献对此 作 了报 道 一 , 归纳起来 主要 有 四种途径 在气相 中分解 , 中间产物 吸 附于 炭纤维表面进 一步 脱氢脱氯 , 最后 形 成 在 气相 中分解 , 聚合脱氢脱氯 , 形 成含有 、 、 、 四 种元 素 的高温液相 , 以液 滴 的形 式粘 附在 炭纤 维表 面进 一 步脱氢脱 氯 , 形 成 在 气 相 中不 能形成 晶核或球形微滴, 但 能形成 晶胚 , 这种 晶胚未能达 到形成 临界温度 晶核 的尺 寸 , 它 以分子簇 的形 式沉积 在炭纤维 的表面 融入 晶格 中 在气相