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制程分析与改善

應用可靠度於微機電之概念 微機電系統技術 Micro Elector-Mechanical System 一.研究目的 (1)目前現況 (2)發展現況 二.對微機電系統的定義 三.優\缺點 微  機  械 1.什麼是微機械?? 2.微機械的能源來自於光與微波 3.微機械的製造技術 4.形狀記憶合金 微 孔 加 工 1.何謂微孔加工?? 3.細微放電加工-RC放電迴路 4.微孔加工之應用 (1)印表機噴嘴 (2)顯示器電子鎗小孔 (3)高速電腦之微連接器 (4)通訊裝置之元件 2.傳統微孔鑽床\雷射加工法\電子束加工法 透過與個人電腦連線控制 , 可做如下圖所示之多孔複雜加工 下圖可應用於噴墨印表機噴頭的微孔 微齒輪加工 外徑600 μm的微齒輪加工 厚光組微渦輪葉片元件加工

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