材料现代研究方法(09电子显微镜) (nxpowerlite).ppt

电子显微镜 光学显微镜分辨本领 光学基础 爱瑞（Airy）斑：由于衍射效应，一个发光物点的像是一个一定尺寸的亮斑和周围几个亮环。一般将亮环忽略不计，中央亮斑为物点的像，称为爱瑞斑。 瑞利（Rayleigh）判据：A1和A2逐渐接近时，A1’和A2’之间的亮度约为亮度最大值的80％，人们仍然能分辨是两个像。瑞利即以这种条件作为光学系统能分辨两物点的最小距离，这个极限称为瑞利判据。 电子光学基础 —— 光学显微镜的局限性 两个发光点的分辨距离为： － 物镜与物体之间介质的折射率 － 半孔径角，不能大于90° － 显微镜的数值孔径 － 光线的波长 电子光学基础 —— 光学显微镜的局限性 提高显微镜分辨本领的方法： 采用高折射率介质 增大 角 利用短波长的射线 电子波动性被发现后，很快被利用来作为提高显微镜分辨率的新光源——即出现了电子显微镜。 电子的粒子性 质量：9.1095 × 10-23 克； 电量：－1.602 × 10-10 库仑； 在电子显微镜中，电子的加速电压一般在几十千伏以上，根据相对论，电子的质量随速度的增加而增大。 电子的波动性 电子光学基础 —— 静电透镜 电子通过两个不同电位的界面 电子在不同电位界面处发生折射。 电子光学基础 —— 静电透镜 聚焦静电透镜 电子光学基础 ——电磁透镜 有电流通过的长线圈中间可看作均匀磁场，这样的线圈起聚焦作用，没有放大作用。 短线圈形成不均匀磁场，具有透镜特性。 电子光学基础 ——电磁透镜 成像公式 －物距 －像距 －透镜焦距 放大倍数 放大倍数受透镜线圈的 电流控制 电子光学基础 ——电磁透镜的像差 球面像差 离光轴远的透镜边缘部分对电子束有强会聚能力，使边缘部分的电子会聚在靠近物的一方，使物体上一个点在像平面上形成一定尺寸的模糊圆斑。球差系数 与透镜的磁场强度有关，磁场强度越大，焦距越短，球差系数减小。 电子光学基础 ——电磁透镜的像差 畸变 球差引起的另外一种像缺陷叫做畸变，在电镜中观察到的畸变是投影镜的球差造成的。由于透镜的中心轴和边缘部分的磁场强度不同，焦距不同，放大倍数也就不同。 电子光学基础 ——电磁透镜的像差 畸变 电子光学基础 ——电磁透镜的像差 色差 色差系数与透镜的磁场强度有关，磁场强度越大， 越小。 电子光学基础 ——电磁透镜的像差 像散 电子光学基础 ——电子光学系统的分辨率 电子光学基础 ——电子光学系统的分辨率 因衍射像差能够分辨两点的最短距离 电子光学基础 ——场深和焦深 场深（景深） 在 之间的任意点无论怎样聚焦，其像不会比xi小。距离 称为场深。 电子光学基础 ——场深和焦深 焦深 在 范围内移动屏幕， 点的像不会发散，但也不会变小。即在 范围内，像的清晰度是一样的， 即为焦深。 透射电子显微镜 透射电子显微镜 透射电镜大体可分为三部分：机械结构部分、供电系统和真空系统。 透射电子显微镜 —— 镜筒 透射电子显微镜 —— 镜筒 照明系统 —— 电子枪 透射电子显微镜 —— 镜筒 照明系统 —— 聚光镜 聚光镜将电子束聚焦得很细，使其照射在试样上。 现代高性能电镜均采用双聚光镜，使电子束进一步变细。 透射电子显微镜 —— 镜筒 样品室 样品室在照明系统下面，样品放在样品筒内或样品架上。操作者操纵镜筒外面的两个手柄，可使样品在水平面上作相互垂直方向的移动，以观察样品的不同部位。 透射电子显微镜 —— 镜筒 成像系统 物镜、中间镜和投影镜构成三级成像系统。最终像的放大倍数是这三个透镜的放大倍数的乘积，即： 透射电子显微镜 —— 镜筒 成像系统 物镜是最主要的部件。改变物镜电流的过程就是聚焦过程。 物镜后焦面处放有物镜光栏，其作用是挡住散射电子，提高电镜的分辨率和衬度。 物镜下部装消像散器，用以消