材料现代研究方法第一章电子光学.ppt

1.3.1 磁透镜 用磁场使电子波聚焦成像的装置。 当速度为v的电子束进入透镜磁场，受磁场力作用，产生一定运动轨迹。 (1) 电子在均匀磁场中的运动 当 ∥ 时，电子不受磁场影响，作匀速直线运动。 当 ⊥ 时，电子运动速度不变，运动方向发生改变，在与磁场垂直的平面内作匀速圆周运动。 ( )= ,电子作螺旋运动。 (2) 电子在非均匀磁场中的运动 轴对称非均匀磁场 通电的短线圈就是一简单的电磁透镜，造成一种轴对称非均匀磁场。 磁透镜 使电子获得切向速度。 使电子获得径向力，向主轴偏转。 磁透镜 电子切向运动产生 轴向磁场分量对电子切向运动的聚焦作用 电子切向运动造成电子绕轴转动 磁透镜 电子穿过透镜磁场时，速度不变，方向连续偏转，形成复杂的空间轨道－－圆锥螺旋近轴运动。 小结 这样，圆形物点的象就变成了椭圆形的漫散圆斑，其平均半 径为 还原到物平面 为象散引起的最大焦距差； 透镜磁场不对称，可能是由于极靴被污染，或极靴的机械不 对称性，或极靴材料各项磁导率差异引起。象散可由附加磁场的电磁消象散器来校正。 3）色差 色差是由入射电子的波长或能量的非单一性造成的 能量为E的 电子轨迹 象1 透镜 物 P 光轴 色差 能量为E- E的 电子轨迹 象2 P 像平面在远焦点和近焦点间移动时存在一最小散焦斑RC。如图所示。 把散焦斑的半径折算到原物面的半径ΔrC有 ???????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????????????? CC—色差系数； DE/E-电子束能量变化率，取决于加速电压的稳定性和电子穿过样品时发生非弹性散射的程度 稳定加速电压和透镜电流可减小色差。 色差系数和球差系数均随透镜激磁电流的增大而减小 在电子透镜中，球差对分辨本领的影响最为重要，因为没有一种简便的方法使其矫正，而其它象差，可以通过一些方法消除 光学显微镜的分辨本领基本上决定于象差和衍射，而象差基本上可以消除到忽略不计的程度，因此，分辨本领主要取决于衍射。 电子透镜中，不能用大的孔径角，若这样做，球差和象差就会很大，但可通过减小孔径角的方法来减小象差，提高分辨本领，但不能过小。 六、电磁透镜的分辨本领 * 第一章 电子光学基础 一、分辨本领 二、有效放大倍数 三、电子的波性及其波长 四、电子显微镜的透镜 五、电磁透镜的缺陷 六、电磁透镜的分辨本领 七、电磁透镜的景深和焦长 为什么光学显微镜的分辨本领远不及电子显微镜？ 一、分辨本领 定义： 能够分辨两点之间的最小距离 人眼睛分辨率大约为0.2mm 由衍射理论推导 ——埃利斑半径（第一暗环） ——波长 ——透镜周围的折射率 ——透镜对物点张角的一半， 称为数值孔径，用 N.A 表示 其中 M ——透镜放大倍数 图（c）两个Airy斑 明显可分辨出。 图（d）两个Airy斑 刚好可分辨出。 图（e）两个Airy斑 分辨不出。 I 0.81I 瑞利判据： 埃利斑中心间距等于第一暗环半径，两衍射斑中心强度约为中央的80％，人眼刚可以分辨，这一条件称为Rayleigh准则 对玻璃透镜，取最大孔径半角a = 70-75°，在物方介质为油的情况下，n ? 1.5，则其数值孔径n sina ? 1.25-1.35，上式可简化为 ????????? 即分辨本领主要取决于照明源的波长。 半波长是透镜分辨本领的理论极限。 可见光的波长在390~760nm之间，最佳情况下，光学玻璃透镜分辨本领极限值可达200nm。 式中： 二、有效放大倍数 定义： 光学显微镜把它能分辨的最小距离放大到人眼能分辨的程度，此时的放大倍数有效放大倍数 光学玻璃透镜分辨本领极限值可达200nm 人眼睛分辨率大约为0.2mm 三、电子的波性及其波长 紫外线 — 波长390~13nm，会被物体强烈的吸收，照明源波长范围200~250nm，分辨率100nm； X 射线 — 10~0.05nm，无法使其会聚 ； 电子波 1924年，物理学家德布罗意提出假说：微观粒子（电子、中子、离子等）的运动服从波粒二象性。2年后通过电子衍射证实了该假说。 粒子的能量E、动量P与物质波的频率ν、波长λ之间关系为：  式中： m－粒子质量，kg v－粒子运动速度，m/s 对于初速度为0的电子，受到电位差为V的电场加速，电子获得的能量为： 式中： －电子电荷，c（库仑） 根据动量的定义，可以得到： 其中：h=6.62x10-34J.s