基于石墨烯的光调制器研究进展-燕山大学学报.PDFVIP

第３９ 卷 第３ 期 燕山大学学报 Ｖｏｌ ３９ Ｎｏ ３ ２０１５ 年５ 月 Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｙａｎｓｈａｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ Ｍａｙ ２０１５ 　 　 文章编号：１００７⁃７９１Ｘ（２０１５）０３⁃０１８９⁃１０ 基于石墨烯的光调制器研究进展 １，２ ， ∗ １ １，２ １ 毕卫红 ，王晓愚 ，付广伟 ，王圆圆 （１． 燕山大学信息科学与工程学院，河北秦皇岛０６６００４ ； ２． 河北省特种光纤与光纤传感重点实验室，河北秦皇岛０６６００４ ） 摘　 要：首先介绍了石墨烯的光电特性及光调制机理，在此基础上结合石墨烯在光调制器中的研究及应用，综 述了国内外基于石墨烯的光调制器研究进展，重点叙述了条形波导结构、Ｍ⁃Ｚ 结构、环形腔结构以及一些其它 结构光调制器的工作原理及各器件的特性。 关键词：研究进展；石墨烯；光调制器 中图分类号： ＴＮ２１６　 　 文献标识码： Ａ　 　 ＤＯＩ：１０．３９６９／ ｊ．ｉｓｓｎ．１００７⁃７９１Ｘ．２０１５．０３．００１ 开关、新能源电池等诸多领域。 石墨烯可以同时 ０　 引言 满足高调制速率、宽带宽、小型化等条件，又能兼 为了满足高性能计算机与光通信高速发展的 容ＣＭＯＳ 工艺，同时极高的电流密度和载流子迁 技术需求，片上光互连技术已经成为亟待解决的 移率（超过硅材料 １００ 倍）使它成为光调制器研究 ［３⁃５］ ［１］ 中最受瞩目的材料 。 本文就石墨烯在不同结构 关键性技术 。 光调制器作为光通信系统中的关 键器件，其性能的优劣直接影响着光信号的传输 光调制器上的研究及应用，综述了石墨烯光调制 器的研究进展。 质量和系统的稳定性。 按材料划分，光调制器大 致可分为：无机物光调制器，Ⅲ⁃ Ⅴ族半导体光调 １　 石墨烯光电特性及光调制机理 ［２］ 制器和聚合物光调制器 。 典型的化合物铌酸锂 光调制器目前已经商用化，但存在着调制电压高、 石墨烯是排列成二维蜂窝状晶格结构的碳原 制作成本高、器件体积大、 电极结构复杂等缺陷， 子单层，它的电学、光学、机械和热力学特性都达 使之不能做到光集成和光互联。 利用硅的等离子 到了前所未有的高度，这是其它材料无法比拟 ［２］ ［６］ 色散效应对光信号进行电光调制 ，Ⅲ⁃ Ⅴ族材料 的 。 由于石墨烯厚度极薄，具有很好的透光性、 的半导体硅可以做成硅基光电子集成系统且与 ［７］ 可视性 ；而石墨烯又具有一定的光吸收率，使碳 ＣＭＯＳ 技术有良好的兼容性，但硅晶体不具有线性 单层的垂直透光率 Ｔ 为 ９７． ７％ ， 反射率 Ｒ ＜ 电光效应（Ｐｏｃｋｅｌｓ 效应） ，二次电光效应（Ｋｅｒｒ 效 ０．１％ ［８］ ，可用做光吸收材料，且多层石墨烯的光吸 应）也很弱，这对调制速率和调制深度都有一定的