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2017-08-10 发布于天津
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Mo离子注入对纯铜表面纳米层稳定性的影响

第 44卷第 8 期材料工程 Vol .44 No . 8 2016 年 8 月第 40 —45 页 Journal of Materials Engineering Aug . 2016 pp . 40 —45 M o 离子注入对纯铜表面纳米层稳定性的影响 E ffect of Mo Ion Im p lan tatio n on S tability of N an o cry stallin e C opper Surface L ayers 郗旸S 张淇萱S 李才巨S 谭军 S 朱心昆 S 王刚2 , 易健宏1 ( 1 昆明理工大学材料科学与工程学院，昆明650093; 2 上海大学微观结构实验室，上海 2004U ) X I Y a n g 1 , Z H A N G Q i-xu a n 1 , L I C ai-ju 1 ,T A N Jun1, Z H U X in -k u n 1 ，W A N G G ang2，Y I Jian-hong 1 (1 F a c u lty o f M a te ria ls Science and E n g in e e rin g , K u n m in g U n iv e rs ity o f Science and T e c h n o lo g y ,K u n m in g 650093, C h in a ；2 L a b o ra to ry fo r M ic ro s tru c tu re s , Shanghai U n iv e rs ity , Shanghai 200444, C hina) 摘要：采用表面机械研磨处理(SMAT )对纯铜进行表面改性，通过金属蒸汽真空弧离子注入技术在纳米表层注入M o 离子。利用光学显微镜（〇M )、X 射线衍射分析仪(XRD )和扫描电镜（SEM )观察 SM A T 处理效果，表面存在纳米层和变形层，通过原子力显微镜（AFM )表征纳米层的晶粒尺寸。结果表明：晶粒尺寸得到了显著的抑制，表面纳米层的晶粒在退火后长大到163nm ，而注入了 M o 离子的只长大到72m r u 此外，SM A T并离子注入后材料表面的硬度仅达到 SM A T 试样的 3. 5 倍，是纯 C u 基体硬度的7 倍左右。M o 离子的分散和由 SM A T及离子注入引入晶体缺陷的反应促使了这些优化现象的产生。关键词：表面机械研磨处理;离子注入;表面纳