Ti6Al4V基体及其改性试样的冲击磨损行为分析.pdfVIP

壬 艳 ：Ti6AI4V基体及其改性试样的冲击磨损行为分析 Ti6A14V基体及其改性试样的冲击磨损行为分析 王 艳 (西华大学 材料科学与工程学院，四川 成都 610039) 摘 要： 在 Ti6A14V合金基表面制备 了N 注入 与 O20mm棒材线切割为 020mm ×2ram 的薄片，经打 氮化层 、TiN膜及 DLC膜 ，进行小载荷反 复冲击，分析 磨 、抛光，直到表面呈现镜面 。 不 同冲击周次下磨痕形貌及磨坑深度 ，比较磨损性能 。 N 注入与氮化在多功能等离子体浸没离子注入 结果表明疲 劳磨损是反复冲击条件下实验试样的共同 (Plasmaimmersionandionimplantation，即 PIII)设 失效机制，主要表现为疲 劳剥落。改性后试样 的抗冲 备 ¨2上完成。真空室本底真空度为 2．5×1O Pa，通 击磨损能力较基体材料均有提 高，其 中N 注入与氮 入 N。分压为 1～2Pa，射频功率 800W，工件 上施 化的 “长程强化效应”使试样在较 高冲击周 次保持 良好 加一2．5kV的偏压 ，频率为 15．15kHz，脉宽 16．5／,s， 的抗磨性能；晶态结构 TiN 膜层 由于较 高的表层硬 离子注入与氮化时间3h。 度，提 高了试样的耐磨性 ，尤其是较低 的冲击周次下； TiN膜的制备在 UBMS450型高真空非平衡磁控 DLC膜 的特殊非晶态结构，使 其在整个冲击过程 中具 溅射设备上完成 。实验本底真空度为 1．8×10。Pa， 有小的磨损深度 ，高的失效周次。 溅射靶为纯钛 (99．9 )，溅射靶电流 3A，基体负偏压 关键词 ： Ti6Al4V 合金 ；改性试样 ；冲击磨损 ；磨损 直流 150V，靶基距 85mm，氩气流量为 60mI／rain，氮 机理 气流量为 10mI／rain，总沉积 时间为 15rain，其 中前 中图分类号 ： TH117．3 文献标识码 ：A 4min溅射沉积 1层纯钛膜作为过渡层。 文章编号 ：1001-9731(2012)17-2393—04 DLC膜 的合成利用等离子体浸没离子注入设备 ， 薄膜沉积之前 ，用 Ar。溅‘射轰击基体 10min，并用脉冲 1 引 言 1800V(30 占空 比)50s，i00V 直流偏压 2min在基体 钛合金由于具有比强度高 、耐蚀性好 、优 良的生物 表面沉积 l层 Ti过渡层 。实验本底真空优于 8．10× 相容性等非凡的特点而在生物医用领域倍受关注。但 i0一。Pa，通过硬膜 ／软膜交替沉积方式制备 c／c多层 钛合金硬度低，耐磨性能差 ，对钛合金进行表面改性 ， 膜，硬膜通过在基体材料上施加 80V直流偏压 4min 已成为当前研究的热点。目前 ，反应改性层磨损性能 获得，软膜是通过在基体上施加 1000V(50 占空比) 的实验通常是用相对静止 的摩擦实验 ，如针一盘实验 ， 脉冲偏压获得 ，硬膜 ／软膜的沉积时间比例为 4／1，如 通过该实验可以了解到一部分有关改性层磨损性能的 此制得包含 4个硬膜 ／软膜的双层膜。 信息。而在医用实际 中，如人工关节 、人工心脏瓣膜、 2．2 冲击磨损实验 牙科植入材料等在体 内服役时都会承受载荷 的冲 实验用冲击磨损实验机原理见图1。 击 ]，其服役工况与静态摩擦实验相差较大 ，因此有必 要采用新的磨损实验方法 ，以更好地判断改性层 的实 际应用价值 。 实验以Ti6AI4V合金为基体 ，选用无明显膜～基界 面的N 注入与氮化层 、具有 晶态结构的TiN膜 以及 非晶结构的类金刚石膜 (DIC)