Ti—Si—N结构及热力学性质的第一性原理研究.pdfVIP

· 120 · 材料导报B：研究篇 2012年 12月(下)第26卷第 l2期 Ti—Si—N结构及热力学性质的第一性原理研究 谭 心 。，李瑜庆 ，刘学杰。，贾亦超 (1 东北大学机械l丁程与 自动化学院，沈阳 110004；2 内蒙古科技大学机械工程学院，包头 014010) 摘要 采用基于密度泛函理论的平面波赝势方法，研究了具有置换型界面的Ti—SiN的结构、弹性常数及热力 学性质。在计算热力学性质时，先计算一组不同晶格常数下的Ti-Si—N的声子谱及相应的静态总能，由此得到不同晶 格常数下的自由能；再由准谐近似及 自由能极小判据得到 自由能与温度的关系，进而计算热膨胀系数、定容摩尔热容 及定压摩尔热容与温度的关系。计算结果说明制备 TbSi—N及类似薄膜时，要选择合适的基底、温度等条件。 关键词 第一性原理 TisiN 热力学性质 中图分类号：0482 文献标识码：A First--principlesStudyonStructureandThermodynamicPropertiesofTi_ISi-·N TANXin ，LIYuqing，LIU Xuejie，JIAYichao。 (1 SchoolofMechanicalEngineeringandAutomation，NortheasternUniversity，Shenyang110004；2 SchoolofMechanical Engineering，InnerM ongolisaUniversityofScience Technology，Baotou014010) Abstract Thestructures．elasticconstantsand thermodynamicpropertiesofsubstitutionalinterfaceTi—Si—N werestudiedwiththeaidofplanewavepseudopotentia1methodbasedondensityfunctionaltheory．W hencalculating thermodynamicproperties，thephononspectrum andthecorrespondingstatictotalenergywerecalculatedforadiffe- rentsetof1atticeconstantsofTi—Si—N。thenthefreeenergywasobtainedwithdifferentlatticeconstants．Thetempe- raturedependenceoffreeenergywasachievedbyquasi—_harmonicapproximationandminimizationcriterionoffreeener—_ gY，andfurtherthetemperaturedependencesofcoefficientofthermalexpansion，constantvolumemolarheatcapacity andconstantpressuremolarheatcapacitywithtemperatureswerecalculated．Itisindicatedthattheselectionsofap— propriatesubstrate，temperatureandotherconditionsarenecessarywhenpreparingTi—Si—N andsimilarthinfilms． Keywords firstprinciples，Ti—Si—N，thermodynamicproperties TiSiN膜以其高硬度、优 良的热稳定性和化学稳定性 究，最初主要是根据实验和检验结果推测其表面为TiN纳米 引起了广泛 的关注。1992年，我 国李世直研究组在沉积 Ti— 晶粒和非常薄的非晶态 Si。N 界面的复合结构_g]。近年来， Si—N表面时发现其硬度约为