电子组态和分子结构 xps可进行表面元素的定性和定量分析.ppt

XPS分析总结 物理基础：光电效应 （EK = h? ? EB） 仪器组成：真空室、X射线源、电子能量分析器 辅助附件：离子枪、电子中和枪 主要功能：成分分析、化学态分析 采谱方法：全谱、高分辨率谱 分析方法：定性分析、定量分析、深度剖析 XPS 表面分析 （＜10ｎｍ） 深度分析 定性分析 定量分析 元素成分分析 元素化学态分析 离子溅射深度分析 角分辨深度分析 化学成像 Thank You！ * * 第8章 在材料科学中的应用 在聚合物材料中的应用 在催化科学中的应用 在冶金学中的应用 在材料物理学中的应用 在腐蚀科学中的应用 8.0、XPS应用领域 由于XPS能谱中包含着样品有关表面电子结构的重要信息，用它可直接研究表面及体相的元素组成、电子组态和分子结构。 XPS可进行表面元素的定性和定量分析，元素组成的选区和微区分析，非均相样品中元素组成的表面分布分析和深度剖析，原子和分子的价带结构分析，在某些情况下还可对元素的化学状态、分子结构等进行研究。 XPS的表面灵敏特性，样品处理的简单性和广泛的适应性，非结构破坏性测试能力，以及可获得丰富的化学信息的能力，是一种用途广泛的现代分析实验技术和表面分析的有力工具。广泛应用于科学研究和工程技术的诸多领域中。 XPS可提供： 原子浓度0.1%的所有元素（除H, He外）的鉴别； 表面元素组成的半定量测定（误差±10%）； 亚单层灵敏度；探测深度1～10 nm，依赖材料和实验参数； 优异的化学信息(化学位移和各种终态效应，以及完善的标准化合物数据库)；关于分子环境的信息（氧化态、成键状态、分子结构等）； 来自震激跃迁（p→p*）的关于芳香的或不饱和烃的结构信息； 使用价带谱的材料“指纹”和成键轨道的鉴别； 详细的电子结构和某些几何信息； 样品内的元素深度分布剖析。 由于XPS谱能提供材料表面丰富的物理、化学信息，所以它在凝聚态物理学、电子结构的基本研究、薄膜分析、半导体研究和技术、分凝和表面迁移研究、分子吸附和脱附研究、化学研究（化学态分析）、电子结构和化学键（分子结构）研究、异相催化、腐蚀和钝化研究、分子生物学、材料科学、环境生态学等学科领域都有广泛应用。 可提供的信息有样品的组分、化学态、表面吸附、表面态、表面价电子结构、原子和分子的化学结构、化学键合情况等。 基础应用研究领域 材料物理——键结构、表面电子态、固体的能带结构、合金的构成与分凝、粘附(adhesion)、迁移(migration)与扩散； 基础化学——元素和分子分析、化学键、分子结构分析、氧化还原、光化学； 催化科学——元素组成、活性、表面化学反应、催化剂中毒； 腐蚀科学——吸附、分凝、气体—表面反应、氧化、钝化； 材料化学——XPS是研究各种镀层、涂层和表面处理层(钝化层、保护层等)的最有效手段，广泛应用于金属、高分子等材料的表面处理、金属或聚合物的淀积、防腐蚀、抗磨、断裂等方面的分析。 微电子技术——电子能谱可对材料和工艺过程进行有效的质量控制和分析，注入和扩散分析，因为表面和界面的性质对器件性能有很大影响。 薄膜研究——如光学膜、磁性膜、超导膜、钝化膜、太阳能电池薄膜等。层间扩散，离子注入。 应用XPS的工业 ?粘合Adhesion、农业Agriculture、汽车制造Automotive、电池Battery、生物材料Biomaterials、生物医学Biomedical、生物技术Biotechnology、罐装食品Canning、催化剂Catalyst、陶瓷Ceramic、化学制品Chemical、计算机Computer、化妆品Cosmetics、电子工业Electronics、能源Energy、环境Environmental、纤维织物Fabrics、食品Food、燃料电池Fuel cells、地质Geology、玻璃Glass、激光Laser、照明Lighting、润滑Lubrication、磁存储Magnetic storage、矿物学Mineralogy、采矿Mining、纳米技术Nanotechnology、核能Nuclear、包装Packaging、绘画Painting、纸张和木材Paper and wood、电镀Plating、聚合物与塑料Polymer and plastic、印刷Printing、记录Recording、半导体Semiconductor、钢铁Steel、纺织Textiles、薄膜涂层Thin-film coating、焊接Welding XPS的典型应用 分子取向 自组装分子单层构造取向，浓度，厚度，覆盖度问题 变色表面的分析 逆向工程 表面改性 工艺过程监测 摩擦学 粘合；粘附 催化；催化作用 界面构造 表面清洁度 腐蚀/氧化