ITO导电玻璃及相关透明导电膜之原理及应用介绍.PDF

ITO 導電玻璃及相關透 明導電膜之原理及應用 勝華科技股份有限公司 黃敬佩 TEL:(04ext. 7751 e-mail: cphwang@.tw 2006.06.07 Outline 1. ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹 透明導電氧化物 (Transparent Conductive Oxide, TCO) 2. TCO 的導電原理 3. TCO 的光學性質 4. TCO 薄膜之品質控制 5. TCO 薄膜之市場應用及未來發 Section 1 1. ITO及各種透明導電氧化物材料的介 紹 2. TCO 的導電原理 3. TCO 的光學性質 4. TCO 薄膜之品質控制 5. TCO 薄膜之市場應用及未來發展 什麼是透明導電薄膜? 在可見光波長範圍 內具有可接受之透光度 以flat panel display 而言透光度愈高愈好 以solar cell 而言太陽光全波長範圍之透光度及熱穩 定性 具有導電特性 電阻比 (resistivity) 愈小愈好，通常ρ 10-4 Ω ּcm 一般而言，導電性提高，透光度便下降，反之亦然。可見 光範圍具有 80 % 以上的透光率，其比電阻低於 1×10-4 Ω ּ cm ，即是良好透明導電膜。 透明導電薄膜 純金屬薄膜 Au 、Ag 、Pt 、Cu 、Al 、Cr 、Pd 、Rh ，在 10nm厚度的薄膜，均 有某種程度的可見光透光度 早期使用之透明電極 缺點：光的吸收度大、硬度低、穩定性差 100 Au 90 Ag Cu T% 80 Pt Al 70 Cr 60 380 480 580 680 780 Wavelength(nm) 18Å thickness 透明導電薄膜 金屬化合物薄膜 (TCO) 泛指具有透明導電性之氧化物、氮化物、氟化物 a. 氧(氮)化物：In2O3 、SnO2 、ZnO 、CdO 、TiN b. 摻雜氧化物：In2O3:Sn (ITO) 、ZnO:In (IZO) 、 ZnO:Ga (GZO) 、ZnO:Al (AZO) 、 SnO2:F 、TiO2:Ta c. 混合氧化物：In2O3-ZnO 、CdIn2O4 、Cd2SnO4 、 Zn2SnO4 透明導電薄膜主角-- ITO 中文名稱：銦錫氧化物 英文全名：Indium Tin Oxide （ITO ） 成分：摻雜錫之銦氧化物(Tin-doped Indium Oxide) 年代：1934年