基于正交试验的La_2O_3掺杂SnO_2气敏传感器的研究.pdfVIP

助 材 料 2011年第10期(42)卷 基于正交试验的La2O3掺杂 SnO2气敏传感器的研究 徐红燕 ，陈兴桥 ，于庆江 ，曹丙强 (1．济南大学 材料科学与工程学院，山东 济南 250022； 2．山东天鹅棉业机械股份有限公司，山东 济南 250032) 摘 要 ： 以SnO。纳米粉和 La。03纳米粉为原料 ，采 掺杂浓度 、烧结温度 、烧结 时间和老化温度为变量 ，固 用高能球磨技术，结合正交试验设计 ，制备 了经过 高能 定其它参量 ，在此基础上设计 了一组 4个因素混合水 球磨 的纯 Sn0 纳米粉体和掺 杂适 量 La。()3的 Sn0z 平的正交试验 L。(4 ×2。)，通过正交试验对工艺条件 纳米粉体 。利用传 统的厚膜 气敏传感 器制备 工艺，制 进行优化 。另外 ，目前还未见文献报道将 正交试验设 备 了纯 Sn0 厚膜 气敏传感器及掺杂一定量 LaO。的 计应用到制备影响因素较多的 La()。掺杂 SnO 气敏 SnO 厚膜气敏传感器 。并对其本征 电阻及其对 乙醇、 传感器的研究 中。 汽油、丙酮、氢气和 CO等气体 的敏感特性进行 了测 试 。结果表 明各 因素对综合气敏性能影响 的显著性水 2 实 验 平 由大到小依次为 La0。掺杂浓度烧结时间老化 2．1 纯 SnO 及掺杂 LaO。的SnO。混合粉体的球磨 时间烧结温度 。同时，通过分析还得到 了最佳组合 处理 工艺。La0。掺量为 5 (质量分数)，烧结时间为 2h， 实验所用原料为 SnO 纳米粉 (平均粒径 60nm)、 老化时间为 7d，烧 结温度 为 650℃条件下制备的气敏 Lao。纳米粉 (平均粒径 7Onot)和无水乙醇 (分析纯)。 元件 的综合气敏 性能最好 ，其 中对 1．0×10 乙醇 蒸 实验过程如下 ：(1)称取 4份 4．0g的 SnO 纳米粉分 气的灵敏度达 1O7．2，对相 同浓度 的干扰 气体的选择 别放在 4个玛瑙球磨罐 中，再分别称取 0、40、80和 性 分别为 S 5 1由一11．3，S 醇／S自圊目一9．1。 关键词 ： SnO ；LaO。掺杂 ；正交试验 ；气敏 200mg的LaO。纳米粉加入到对应的球磨罐中，再 以 中图分类号 ： TP212．2 文献标识码 ：A 料醇 比1：4的比例加入无水 乙醇作为研磨介质 ，即 文章编号：1001—9731(2011)1O一1790—05 16．00、16．16、16．32、16．80mL；(2)将上述 4种样品 ， 放到行星球磨机 中球磨 (球料 比一5：1，球磨 时间为 l 引 言 4h)；(3)球磨完毕将所得样品取 出，8OC干燥 2h。将 SnO 是一种受到广泛重视 的宽禁带半导体材料 ， 样品收集得 到球磨处理好 的纯 SnO。及 3种掺杂 它在太阳能电池 、电热材料、电极材料 以及气敏传感材 LaO。(1 、2 、59／6(质量分数))的SnO。粉体样品。 料方面已得到广泛的应用 。作为气敏材料 ，在可燃气 2．2 正交试验l1“] 体检测和有毒气体探测器 的研究 中，SnO 是研究最 (1)分别称取 1份 0．50g的上述 4种样 品，并分 多、使用最广 的一种材料 。由于 SnO。气敏传感器 的 别用玛瑙研钵研磨 ，先干磨